本技術(shù)涉及掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，尤其是涉及一種掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)及光刻機。
背景技術(shù)：
1、掩膜版，又稱光罩、光罩版、光掩膜、光刻掩膜版等，是微電子、集成電路制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到晶圓上，因此掩膜版是光刻工藝中不可或缺的組成部分。
2、掩膜版作為精密原件，其對顆?；蛭廴疚锞置舾?，因此掩膜版在存儲時均放置在專門的掩膜盒中，只有在曝光工藝時，才將其從掩膜盒取出并放置到掩膜臺上進行曝光。傳統(tǒng)掩膜盒的盒蓋設(shè)置在掩膜盒的前側(cè)，并采用鉸接的形式安裝在掩膜盒上，然后將掩膜盒安裝到光刻機內(nèi)部的掩膜版存儲庫中。轉(zhuǎn)運機械手在取用相應(yīng)掩膜版時，需要在盒蓋打開后才能執(zhí)行取版動作，而一臺光刻機中一般存儲有多塊掩膜版，多塊掩膜版在掩膜版存儲庫中一般按層放置，機械手在拿取或存放掩膜版時都需要先移動至對應(yīng)位置并打開盒蓋，然后再進行存取操作，導致存取效率低下。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的在于提供一種掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)及光刻機，以解決上述技術(shù)問題。
2、第一方面，本實用新型實施例提供一種掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其包括：設(shè)有開口的盒體和開蓋組件，盒體的開口處活動設(shè)置有盒蓋，開蓋組件與盒蓋驅(qū)動配合，開蓋組件用于驅(qū)動盒蓋相對開口打開或關(guān)閉。
3、進一步地，開蓋組件包括第一驅(qū)動機構(gòu)和擺動組件，擺動組件與驅(qū)動機構(gòu)連接，且擺動組件與盒蓋驅(qū)動配合，第一驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動擺動組件擺動使盒蓋打開或關(guān)閉。
4、進一步地，擺動組件包括驅(qū)動擺臂和開蓋撥桿，驅(qū)動擺臂的一端與第一驅(qū)動機構(gòu)的轉(zhuǎn)軸連接，驅(qū)動擺臂的另一端設(shè)置開蓋撥桿，盒蓋與盒體鉸接，驅(qū)動擺臂受驅(qū)帶動開蓋撥桿轉(zhuǎn)動，開蓋撥桿可與盒蓋抵接并推動盒蓋轉(zhuǎn)動，使盒蓋打開或關(guān)閉。
5、進一步地，盒體的數(shù)量為多個，多個盒體排列設(shè)置，掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)還包括沿盒體排布方向設(shè)置的滑動組件，開蓋組件與滑動組件連接，滑動組件帶動開蓋組件移動至任一對應(yīng)的盒體處，使開蓋組件與對應(yīng)的盒體的盒蓋驅(qū)動配合。
6、進一步地，滑動組件包括沿盒體排布方向延伸的滑軌、滑塊和第二驅(qū)動機構(gòu)，開蓋組件設(shè)置于滑塊上，第二驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動滑塊沿滑軌滑動。
7、進一步地，掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)還包括位置傳感器和控制器，控制器分別與位置傳感器和滑動組件電連接，位置傳感器用于檢測開蓋組件或滑動組件中滑塊的位置信息，控制器用于根據(jù)位置信息控制滑動組件帶動開蓋組件移動。
8、進一步地，第二驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機和驅(qū)動螺桿，驅(qū)動螺桿與驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)軸連接，滑塊上開設(shè)有螺紋孔，驅(qū)動螺桿穿設(shè)于螺紋孔中。
9、進一步地，驅(qū)動擺臂與第一驅(qū)動機構(gòu)的轉(zhuǎn)軸可拆卸連接。
10、進一步地，驅(qū)動擺臂上開設(shè)有連接孔，第一驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸穿設(shè)于連接孔中，驅(qū)動擺臂和第一驅(qū)動機構(gòu)上開設(shè)有連通的固定孔，固定孔中穿設(shè)有固定插銷。
11、另一方面，本實用新型實施例還提供一種光刻機，其包括光刻機主體和上述任一項的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)設(shè)置于光刻機主體的內(nèi)部，光刻機主體上設(shè)置有機械臂，機械臂用于存取放置于掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)中的掩膜版。
12、本實用新型提供的一種掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其包括：設(shè)有開口的盒體和開蓋組件，盒體的開口處活動設(shè)置有盒蓋，開蓋組件與盒蓋驅(qū)動配合，開蓋組件用于驅(qū)動盒蓋相對開口打開或關(guān)閉。通過在盒體的開口處設(shè)置開蓋組件，自動打開和關(guān)閉盒蓋，便于存取掩膜版，提高工作效率。
13、本實用新型實施例提供的一種光刻機，包括光刻機主體和上述掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，采用了上述具有自動開蓋功能的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，實現(xiàn)快速存取掩膜版的效果，提高了工作效率效率。
1.一種掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，包括：設(shè)有開口的盒體(100)和開蓋組件(200)，所述盒體(100)的開口處活動設(shè)置有盒蓋(300)，所述開蓋組件(200)與所述盒蓋(300)驅(qū)動配合，所述開蓋組件(200)用于驅(qū)動所述盒蓋(300)相對所述開口打開或關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述開蓋組件(200)包括第一驅(qū)動機構(gòu)(201)和擺動組件，所述擺動組件與所述驅(qū)動機構(gòu)連接，且所述擺動組件與所述盒蓋(300)驅(qū)動配合，所述第一驅(qū)動機構(gòu)(201)驅(qū)動所述擺動組件擺動使所述盒蓋(300)打開或關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述擺動組件包括驅(qū)動擺臂(202)和開蓋撥桿(203)，所述驅(qū)動擺臂(202)的一端與所述第一驅(qū)動機構(gòu)(201)的轉(zhuǎn)軸連接，所述驅(qū)動擺臂(202)的另一端設(shè)置開蓋撥桿(203)，所述盒蓋(300)與所述盒體(100)鉸接，所述驅(qū)動擺臂(202)受驅(qū)帶動所述開蓋撥桿(203)轉(zhuǎn)動，所述開蓋撥桿(203)可與所述盒蓋(300)抵接并推動所述盒蓋(300)轉(zhuǎn)動，使所述盒蓋(300)打開或關(guān)閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述盒體(100)的數(shù)量為多個，多個所述盒體(100)排列設(shè)置，所述掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)還包括沿所述盒體(100)排布方向設(shè)置的滑動組件(400)，所述開蓋組件(200)與所述滑動組件(400)連接，所述滑動組件(400)帶動所述開蓋組件(200)移動至任一對應(yīng)的所述盒體(100)處，使所述開蓋組件(200)與對應(yīng)的所述盒體(100)的盒蓋(300)驅(qū)動配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述滑動組件(400)包括沿所述盒體(100)排布方向延伸的滑軌(401)、滑塊(402)和第二驅(qū)動機構(gòu)(403)，所述開蓋組件(200)設(shè)置于所述滑塊(402)上，所述第二驅(qū)動機構(gòu)(403)驅(qū)動所述滑塊(402)沿所述滑軌(401)滑動。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)還包括位置傳感器和控制器，所述控制器分別與所述位置傳感器和所述滑動組件(400)電連接，所述位置傳感器用于檢測所述開蓋組件(200)或所述滑動組件(400)中滑塊(402)的位置信息，所述控制器用于根據(jù)所述位置信息控制所述滑動組件(400)帶動所述開蓋組件(200)移動。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述第二驅(qū)動機構(gòu)(403)包括驅(qū)動電機和驅(qū)動螺桿，所述驅(qū)動螺桿與所述驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)軸連接，所述滑塊(402)上開設(shè)有螺紋孔，所述驅(qū)動螺桿穿設(shè)于所述螺紋孔中。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動擺臂(202)與所述第一驅(qū)動機構(gòu)(201)的轉(zhuǎn)軸可拆卸連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動擺臂(202)上開設(shè)有連接孔(2021)，所述第一驅(qū)動機構(gòu)(201)的輸出軸穿設(shè)于所述連接孔(2021)中，所述驅(qū)動擺臂(202)和所述第一驅(qū)動機構(gòu)(201)上開設(shè)有連通的固定孔，所述固定孔中穿設(shè)有固定插銷(500)。
10.一種光刻機，其特征在于，包括光刻機主體和如權(quán)利要求1-9任一項所述的掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)，所述掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)設(shè)置于所述光刻機主體的內(nèi)部，所述光刻機主體上設(shè)置有機械臂，所述機械臂用于存取放置于所述掩膜版存放盒開蓋機構(gòu)中的掩膜版。