技術編號：42324278
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及電子曝光機，特別是涉及一種多束光纖電子曝光機。背景技術、電子曝光機是一種應用于半導體工藝的圖形化手段。電子曝光機激發(fā)的電子束能夠使樣品表面的光刻膠變性，使光刻膠有機物支鏈結構發(fā)生交聯(lián)或分解，或者以其他機理為基礎，使設計圖案轉移到光刻膠上，從而使光刻膠成為臨時掩模版用于后續(xù)圖形化操作。、相關技術中的電子曝光機的曝光效率較低。技術實現(xiàn)思路、基于此，有必要針對相關技術中的電子曝光機的曝光效率較低的問題，提供一種多束光纖電子曝光機。、一種多束光纖電子曝光機，用于對樣品進行曝光，所述多束...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。