技術(shù)編號(hào):42325681
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及高精度激光加工設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種基于大理石平臺(tái)的多軸激光加工設(shè)備。背景技術(shù)、傳統(tǒng)高精度激光加工系統(tǒng)多采用金屬基座,例如鑄鐵或鋼的多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái);盡管金屬材料具有高強(qiáng)度特性,但其熱膨脹系數(shù)較高,在長(zhǎng)時(shí)間加工或環(huán)境溫度波動(dòng)時(shí)易產(chǎn)生熱變形,導(dǎo)致加工精度下降;此外,機(jī)械振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)軸間的協(xié)同誤差,例如反向間隙、導(dǎo)軌摩擦不均等進(jìn)一步限制了納米級(jí)加工的實(shí)現(xiàn),尤其在處理復(fù)雜曲面或微納結(jié)構(gòu)時(shí),難以滿足半導(dǎo)體、光學(xué)元件等領(lǐng)域?qū){米級(jí)精度的嚴(yán)苛需求。、隨著激光技術(shù)的成熟,加工模式逐漸向“冷加工”轉(zhuǎn)變,...
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