技術(shù)編號：42326909
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件專用設(shè)備，具體涉及一種浮動定子減震裝置及方法。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體貼裝設(shè)備、半導(dǎo)體封裝設(shè)備等半導(dǎo)體器件專用的高精度設(shè)備制造領(lǐng)域，為了提高設(shè)備的uph（每小時產(chǎn)量），高精度設(shè)備的驅(qū)動部件的速度、加速度指標(biāo)往往設(shè)計得很高。以半導(dǎo)體封裝設(shè)備為例，半導(dǎo)體封裝設(shè)備中的鍵合頭由直線電機驅(qū)動進行高速直線運動，需要在短行程內(nèi)達(dá)到g的加速度。而現(xiàn)有的半導(dǎo)體封裝設(shè)備，其直線電機的定子是直接固定在機臺上的，直線電機的動子驅(qū)動鍵合頭高速運動時，直線電機的定子會受到很大的反作用力，導(dǎo)致與定子固定連接...
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