RF發(fā)生器的雙峰自動(dòng)功率和頻率調(diào)諧的系統(tǒng)及方法相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求2012年3月23日遞交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)No.61/615,063的權(quán)益。上述申請(qǐng)的整個(gè)公開內(nèi)容通過(guò)引用合并于此。本公開涉及射頻(RF)發(fā)生器,并且具體來(lái)說(shuō),涉及RF發(fā)生器的功率和頻率調(diào)諧控制。此文所提供的背景...