本技術(shù)涉及暗場顯微成像，尤其涉及一種多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置。
背景技術(shù)：
1、暗場顯微成像技術(shù)采用光學顯微鏡結(jié)合特殊的照明和觀察方式，使得微小的結(jié)構(gòu)在背景中得以突出呈現(xiàn)，特別適合顆粒、纖維、小尺度界面等的觀測。人們常常采用增加顯微鏡放大倍率方式，來實現(xiàn)對尺寸極其微小的缺陷的檢測。然而，顯微鏡放大倍率增大會導致顯微成像系統(tǒng)景深淺薄，對于非水平平面樣本容易造成離焦模糊，難以實現(xiàn)對樣本元件進行批量獲取高分辨高清晰圖像。因此如何提升高分辨顯微成像景深是待解決的關(guān)鍵技術(shù)問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的非水平平面樣本元件高精度高分辨檢測時候離焦模糊的問題，提供一種多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，結(jié)合色散管鏡、第一二向色鏡和第二二向色鏡，利用三個波段圖像傳感器同步采集不同波段圖像，使用工控機對不同波段圖像進行合成，能夠提升超景深顯微暗場高分辨圖像獲取效率及精度。
2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是：
3、一方面，一種多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，包括：環(huán)形照明光源、非水平平面樣本、物鏡、色散管鏡、第一二向色鏡、反射鏡、第一聚焦透鏡、第一波段圖像傳感器、第二聚焦透鏡、第二二向色鏡、第二波段圖像傳感器、第三波段圖像傳感器和工控機；
4、所述工控機與所述環(huán)形照明光源相連接以控制環(huán)形照明光源發(fā)射光至所述非水平平面樣本，所述非水平平面樣本散射的光經(jīng)物鏡和色散管鏡后到達所述第一二向色鏡；
5、所述反射鏡設(shè)置于所述第一二向色鏡的反射光光路上，所述第一波段圖像傳感器設(shè)置在所述反射鏡的反射光光路上；所述反射鏡和所述第一波段圖像傳感器之間設(shè)置有所述第一聚焦透鏡；
6、所述第二二向色鏡設(shè)置于所述第一二向色鏡的透射光光路上，所述第二波段圖像傳感器設(shè)置在所述第二二向色鏡的反射光光路上，所述第三波段圖像傳感器設(shè)置在所述第二二向色鏡的透射光光路上；所述第一二向色鏡和所述第二二向色鏡之間設(shè)置有所述第二聚焦透鏡；
7、所述第一波段圖像傳感器、第二波段圖像傳感器和第三波段圖像傳感器分別與工控機相連接。
8、優(yōu)選的，所述的多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，還包括第一電機；所述第一電機設(shè)置在所述非水平平面樣本下方，所述第一電機與所述工控機相連接，所述工控機驅(qū)動第一電機帶動所述非水平平面樣本移動進行調(diào)焦。
9、優(yōu)選的，所述的多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，還包括第二電機；所述第二電機設(shè)置在所述物鏡和色散管鏡之間，所述第二電機與所述工控機相連接，所述工控機驅(qū)動第二電機帶動所述物鏡移動進行調(diào)焦。
10、優(yōu)選的，所述第一波段圖像傳感器、第二波段圖像傳感器和第三波段圖像傳感器接收同一波段的光信號時，均位于同一樣本視場的焦面處；分別接收來自樣本表面同一視場的三個不同波段的光信號時，形成樣本表面不同高度位置的焦面。
11、優(yōu)選的，所述的多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，還包括載物臺；所述非水平平面樣本放置在載物臺上方。
12、本實用新型的有益效果如下：
13、(1)本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，結(jié)合第一二向色鏡和第二二向色鏡，利用三個相機同步采集不同波段圖像，使用工控機將不同波段光譜圖像融合實現(xiàn)超景深顯微暗場高分辨圖像獲?。?/p>
14、(2)本實用新型使用工控機將不同波段光譜圖像融合，同時進行信號控制和數(shù)據(jù)處理分析，實現(xiàn)超景深顯微暗場高分辨圖像獲取，更進一步提高超景深高分辨圖像獲取效率
15、(3)本實用新型使用色散管鏡將環(huán)形光源的光譜沿軸向展開，使得不同波段的圖像聚焦在不同的表面高度，在一定程度上避免了傳統(tǒng)景深延拓方法所使用的軸向?qū)訉訏呙瑁苊饬藢訏哌^程中裝置抖動帶來的圖像偏移，相較傳統(tǒng)景深延拓方法具有更高的精度和效率；
16、(4)本實用新型相較傳統(tǒng)超景深方法，能夠適用于任意具有高度差、高反射率樣本，特別的，對于具有大高度差、高反射率、高透射率的透明樣本，應(yīng)用場景廣闊。
17、以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步詳細說明，但本實用新型的一種多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置不局限于實施例。
1.一種多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，其特征在于，包括：環(huán)形照明光源(2)、非水平平面樣本(1)、物鏡(3)、色散管鏡(5)、第一二向色鏡(6)、反射鏡(7)、第一聚焦透鏡(8)、第一波段圖像傳感器(9)、第二聚焦透鏡(10)、第二二向色鏡(12)、第二波段圖像傳感器(11)、第三波段圖像傳感器(13)和工控機(14)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，其特征在于，還包括第一電機(41)；所述第一電機(41)設(shè)置在所述非水平平面樣本(1)下方，所述第一電機(41)與所述工控機(14)相連接，所述工控機(14)驅(qū)動第一電機(41)帶動所述非水平平面樣本(1)移動進行調(diào)焦。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，其特征在于，還包括第二電機(42)；所述第二電機(42)設(shè)置在所述物鏡(3)和色散管鏡(5)之間，所述第二電機(42)與所述工控機(14)相連接，所述工控機(14)驅(qū)動第二電機(42)帶動所述物鏡(3)移動進行調(diào)焦。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，其特征在于，所述第一波段圖像傳感器(9)、第二波段圖像傳感器(11)和第三波段圖像傳感器(13)接收同一波段的光信號時，均位于同一樣本視場的焦面處；分別接收來自樣本表面同一視場的三個不同波段的光信號時，形成樣本表面不同高度位置的焦面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多波段超景深顯微暗場高分辨圖像獲取裝置，其特征在于，還包括載物臺；所述非水平平面樣本(1)放置在載物臺上方。