本技術涉及環(huán)形工件沉積的領域，具體是一種用于圓環(huán)形工件沉積的工裝。
背景技術：
1、化學氣相沉積是一種重要的在工件表面形成薄膜的制備方法；它是通過將氣相沉積預反應氣體通入沉積爐內(nèi)，在高溫下反應，產(chǎn)生的產(chǎn)物在待包覆材料表面沉積，最終在待包覆材料表面形成包覆層，從而得到氣相沉積包覆的復合材料，具有工藝簡單、適用于規(guī)?；a(chǎn)等特點；而圓環(huán)形工件是常見的工件形狀，現(xiàn)有化學沉積設備對圓環(huán)形工件沉積的方式通常采用吊裝，為了提高對圓環(huán)形工件的沉積效率，一次沉積多個圓環(huán)形工件，這就需要將多個圓環(huán)形工件均勻分布于沉積容器內(nèi)的各個位置，但是沉積容器內(nèi)各個位置的沉積氣體濃度分布不均勻，這易導致各個圓環(huán)工件表面沉積的厚度不一致，因此需要提高沉積容器內(nèi)沉積氣體分布的均勻性，進而提高各個圓環(huán)工件沉積厚度的一致性。
技術實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的在于提供一種用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，目的是可以使得沉積容器內(nèi)各個位置的圓環(huán)形工件表面沉積的更加均勻。
2、為實現(xiàn)上述目的，一方面，本實用新型采用如下技術方案：
3、一種用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，包括沉積組件，沉積組件包括沉積容器、氣體管道和沉積支桿，氣體管道豎直設置且一端穿過沉積容器底部進入沉積容器內(nèi)部，另一端連通有用于向氣體管道內(nèi)通入氣體的通氣組件，通氣組件位于沉積容器外部；沉積支桿設置為多個，多個沉積支桿設置于沉積容器內(nèi)，并沿氣體管道的長度方向安裝在氣體管道上，沉積支桿用于承載需沉積的工件；氣體管道上開通有多個出氣孔，多個出氣孔沿氣體管道的長度方向分布；多個所述出氣孔的孔徑沿遠離通氣組件的方向逐漸增大。
4、有益效果是：當需要對工件進行沉積時，將工件放置在沉積支桿上，同時沉積支桿又置于沉積容器內(nèi)，通過氣體管道向沉積容器內(nèi)通入沉積氣體，由于氣體管道上開設有多個出氣孔，且出氣孔沿氣體管道的長度方向分布且孔徑逐漸增大，使得沉積氣體進入出氣管道內(nèi)后，可以在出氣管道內(nèi)移動并通過出氣孔排出至沉積容器內(nèi)，沿氣體管道的長度方向排列的出氣孔的設置，使得沉積氣體可以釋放至沉積容器內(nèi)各個位置，同時隨著氣體移動過程，氣體管道內(nèi)的氣體濃度降低，增大的孔徑使得更多的氣體釋放在沉積容器內(nèi)，使得安置在沉積容器內(nèi)各個位置的工件均可以被均勻沉積，工件表面被沉積的沉積厚度也更加一致。
5、本實用新型的進一步的技術方案為，還包括轉(zhuǎn)動組件，所述轉(zhuǎn)動組件連接于所述氣體管道上，轉(zhuǎn)動組件位于沉積容器外部且用于驅(qū)動氣體管道轉(zhuǎn)動。
6、有益效果是：當對工件進行沉積時，通過轉(zhuǎn)動組件對氣體管道進行轉(zhuǎn)動，使得出氣孔在排出沉積氣體時，更加均勻?qū)⒊练e氣體輸送至沉積容器內(nèi)，進一步提高沉積氣體在沉積容器內(nèi)分布的均勻性。
7、本實用新型的進一步的技術方案為，所述轉(zhuǎn)動組件包括旋轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動件，旋轉(zhuǎn)軸一端固定連接在氣體管道上，另一端與驅(qū)動件連接，驅(qū)動件用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸和氣體管道轉(zhuǎn)動。
8、本實用新型的進一步的技術方案為，所述通氣組件包括進氣套筒和進氣管道，進氣套筒包裹在氣體管道與旋轉(zhuǎn)軸連接的一端，且氣體管道與進氣套筒密封聯(lián)通；氣體管道和旋轉(zhuǎn)軸均轉(zhuǎn)動連接在進氣套筒上，進氣管道穿設進氣套筒內(nèi)的一端開設有孔，用于將進氣套筒內(nèi)的氣體輸送至進氣管道內(nèi)。
9、本實用新型的進一步的技術方案為，所述進氣套筒與氣體管道和旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接部分設置有軸承。
10、本實用新型的進一步的技術方案為，多個所述出氣孔沿氣體管道的長度方向成一列，每列出氣孔設置一組，氣體管道上沿其周側(cè)方向均勻分布有多組出氣孔。
11、本實用新型的進一步的技術方案為，所述沉積支桿上設置有多個凸起，多個凸起沿沉積支桿的長度方向均勻、間隔分布在沉積支桿上，需沉積的工件放置在相鄰凸起之間。
12、有益效果為：當需要對圓環(huán)形工件進行沉積時，通過將圓環(huán)形工件掛設在沉積支桿上，使得圓環(huán)形工件均勻分布在沉積容器內(nèi)，然后通過通氣組件向進氣管道內(nèi)輸送沉積氣體，使得沉積氣體通過分布在進氣管道上不同位置的出氣孔輸送至沉積容器內(nèi)，同時隨著遠離通氣組件的出氣孔的孔徑增大，提高在沉積氣體在移動過程中單位時間的釋放量，使得沉積容器內(nèi)分布的沉積氣體更加均勻，配合轉(zhuǎn)動組件對進氣管道的轉(zhuǎn)動作用，帶動沉積支桿上的環(huán)形工件轉(zhuǎn)動，進而使得環(huán)形工件可以更加均勻的在沉積容器內(nèi)與沉積氣體接觸，提高對環(huán)形工件表面沉積的均勻性。
1.一種用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，其特征是，包括沉積組件，沉積組件包括沉積容器、氣體管道和沉積支桿，氣體管道豎直設置且一端穿過沉積容器底部進入沉積容器內(nèi)部，另一端連通有用于向氣體管道內(nèi)通入氣體的通氣組件，通氣組件位于沉積容器外部；沉積支桿設置為多個，多個沉積支桿設置于沉積容器內(nèi)，并沿氣體管道的長度方向安裝在氣體管道上，沉積支桿用于承載需沉積的工件；氣體管道上開通有多個出氣孔，多個出氣孔沿氣體管道的長度方向分布；多個所述出氣孔的孔徑沿遠離通氣組件的方向逐漸增大。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，其特征是，還包括轉(zhuǎn)動組件，所述轉(zhuǎn)動組件連接于所述氣體管道上，轉(zhuǎn)動組件位于沉積容器外部且用于驅(qū)動氣體管道轉(zhuǎn)動。
3.根據(jù)權利要求2所述的用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，其特征是，所述轉(zhuǎn)動組件包括旋轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動件，旋轉(zhuǎn)軸一端固定連接在氣體管道上，另一端與驅(qū)動件連接，驅(qū)動件用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸和氣體管道轉(zhuǎn)動。
4.根據(jù)權利要求1所述的用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，其特征是，所述通氣組件包括進氣套筒和進氣管道，進氣套筒包裹在氣體管道與旋轉(zhuǎn)軸連接的一端，且氣體管道與進氣套筒密封聯(lián)通；氣體管道和旋轉(zhuǎn)軸均轉(zhuǎn)動連接在進氣套筒上，進氣管道穿設進氣套筒內(nèi)的一端開設有孔，用于將進氣套筒內(nèi)的氣體輸送至進氣管道內(nèi)。
5.根據(jù)權利要求4所述的用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，其特征是，所述進氣套筒與氣體管道和旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接部分設置有軸承。
6.根據(jù)權利要求1所述的用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，其特征是，多個所述出氣孔沿氣體管道的長度方向成一列，每列出氣孔設置一組，氣體管道上沿其周側(cè)方向均勻分布有多組出氣孔。
7.根據(jù)權利要求1所述的用于圓環(huán)形工件沉積的工裝，其特征是，所述沉積支桿上設置有多個凸起，多個凸起沿沉積支桿的長度方向均勻、間隔分布在沉積支桿上，需沉積的工件放置在相鄰凸起之間。