本技術(shù)涉及擴散爐，更具體地說，涉及一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置。
背景技術(shù)：
1、擴散爐主要用于硅片太陽能器件制造中的擴散、氧化工藝，爐體是擴散、氧化工藝的反應(yīng)腔室，擴散爐的結(jié)構(gòu)形式非常關(guān)鍵。現(xiàn)有的硅片太陽能電池擴散工藝均采用水平臥式擴散爐，擴散爐內(nèi)配有水平臥式石英舟承載硅片，生產(chǎn)時需要人工向石英舟槽內(nèi)插入硅片。石英舟插好硅片后，放在懸臂漿上，自動運行工藝就可以進入石英管中進行擴散工藝。擴散完成后懸臂槳會退出來，關(guān)閉爐門。工藝爐管中會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，主要產(chǎn)物為偏磷酸，偏磷酸會沿石英爐管口流出滴在爐門口的鐵板上，造成硅片的污染。由于工藝過程需要在高溫環(huán)境中進行，現(xiàn)有的爐門溫度較高，爐門易損壞，清理廢液時要花費時間降溫操作，不然很容易被燙傷，維護周期不太好控制。且爐門穩(wěn)定性較差，影響硅片的生產(chǎn)效率。
2、現(xiàn)有專利擴散爐，專利授權(quán)號cn217651350u中包括爐體、設(shè)置于爐體內(nèi)的爐管、爐門以及接料盤，爐管的一端具有開口，爐門用于封閉開口。為了避免爐門封閉爐管時對爐管造成損壞，在爐門處還設(shè)置有氣體輸送管道，以緩沖爐門對爐管的壓力，為了便于清理偏磷酸，在爐管開口沿重力方向的下方設(shè)置接料盤，并在爐門處設(shè)置冷卻水管道，能夠便于接料盤的取放以及保護爐門，增加擴散爐的耐用性和生產(chǎn)質(zhì)量。
3、但是專利授權(quán)號cn217651350u中爐管的一端具有開口，以便石英舟的放入或取出。爐管的另一端設(shè)置有第一接口和第二接口，第一接口用于與密封管道連接以調(diào)整爐管內(nèi)的真空度，調(diào)節(jié)真空度的方式可以為：將密封管道的出口與真空泵(圖中未示出，為現(xiàn)有技術(shù)中的常規(guī)真空泵)連接，第二接口配備為工藝氣體的輸入和輸出，由于工藝氣體通過第二接口輸送到爐體的內(nèi)腔，不利于工藝氣體的擴散，導(dǎo)致工藝氣體在爐腔中擴散不均勻，進而影響工件的加工，所以我們提出了一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置來解決上述存在的問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、1.要解決的技術(shù)問題
2、針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，它可以利用槳葉帶動軸桿配合保持架轉(zhuǎn)動，進而帶動螺旋葉片同步轉(zhuǎn)動，在對工藝氣體向連接管末端傳送的同時，可通過氣孔將工藝氣體均勻的擴散至爐體的內(nèi)側(cè)，使工藝氣體在爐腔中擴散不均勻，保證了工件的加工質(zhì)量。
3、2.技術(shù)方案
4、為解決上述問題，本實用新型采用如下的技術(shù)方案。
5、一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，包括爐體、安裝在所述爐體端口部位的密封門以及與所述爐體導(dǎo)通連接的第一接口和第二接口，所述爐體的內(nèi)腔安裝有與所述第一接口導(dǎo)通相連的連接管，且所述連接管遠離所述第一接口的一端呈封閉式結(jié)構(gòu)設(shè)置；
6、所述連接管靠近所述第一接口的內(nèi)腔固定連接有保持架，所述保持架與所述連接管的末端之間轉(zhuǎn)動連接有軸桿，所述軸桿的一端安裝有延伸至所述第一接口內(nèi)側(cè)的導(dǎo)流錐，所述導(dǎo)流錐的一側(cè)設(shè)置有與所述軸桿側(cè)壁固定連接的槳葉，所述軸桿位于所述連接管內(nèi)腔的部位安裝有螺旋葉片；
7、所述連接管對應(yīng)所述螺旋葉片的外壁部位呈環(huán)形陣列開設(shè)有氣孔。
8、進一步的，所述連接管靠近所述第一接口的一端固定連接有安裝座，且所述安裝座的表面開設(shè)有裝配孔。
9、進一步的，所述安裝座的表面鑲嵌有與所述爐體內(nèi)腔壁緊密貼合的密封膠圈。
10、進一步的，所述安裝座與所述連接管相結(jié)合的部位固定連接有呈直角三角形結(jié)構(gòu)設(shè)置的肋板，且所述肋板在所述連接管的徑向位置設(shè)置有多個。
11、進一步的，所述槳葉具體設(shè)置有三個，且相鄰的兩個所述槳葉之間對應(yīng)所述軸桿的軸心線的夾角為120°。
12、進一步的，所述保持架和連接管與所述軸桿相結(jié)合的部位均安裝有軸承。
13、進一步的，所述螺旋葉片的外徑與所述連接管的內(nèi)徑相適配。
14、3.有益效果
15、相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的優(yōu)點在于：
16、(1)本方案，在第一接口將工藝氣體輸送到連接管的內(nèi)側(cè)之后，在氣流的擾動下導(dǎo)流錐將流動的氣流分散至槳葉處，在槳葉的作用之下將工藝氣體向連接管的內(nèi)側(cè)吹送，同時利用槳葉帶動軸桿配合保持架轉(zhuǎn)動，進而帶動螺旋葉片同步轉(zhuǎn)動，在對工藝氣體向連接管末端傳送的同時，可通過氣孔將工藝氣體均勻的擴散至爐體的內(nèi)側(cè)，使工藝氣體在爐腔中擴散不均勻，保證了工件的加工質(zhì)量。
17、(2)本方案，通過安裝座對連接管安裝時，通過密封膠圈填充安裝座與爐體之間的間隙，從而避免在工藝氣體輸送的過程中從連接部位泄露。
1.一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，包括爐體(1)、安裝在所述爐體(1)端口部位的密封門(2)以及與所述爐體(1)導(dǎo)通連接的第一接口(3)和第二接口(4)，其特征在于：所述爐體(1)的內(nèi)腔安裝有與所述第一接口(3)導(dǎo)通相連的連接管(5)，且所述連接管(5)遠離所述第一接口(3)的一端呈封閉式結(jié)構(gòu)設(shè)置；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，其特征在于：所述連接管(5)靠近所述第一接口(3)的一端固定連接有安裝座(6)，且所述安裝座(6)的表面開設(shè)有裝配孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，其特征在于：所述安裝座(6)的表面鑲嵌有與所述爐體(1)內(nèi)腔壁緊密貼合的密封膠圈(14)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，其特征在于：所述安裝座(6)與所述連接管(5)相結(jié)合的部位固定連接有呈直角三角形結(jié)構(gòu)設(shè)置的肋板(13)，且所述肋板(13)在所述連接管(5)的徑向位置設(shè)置有多個。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，其特征在于：所述槳葉(10)具體設(shè)置有三個，且相鄰的兩個所述槳葉(10)之間對應(yīng)所述軸桿(8)的軸心線的夾角為120°。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，其特征在于：所述保持架(7)和連接管(5)與所述軸桿(8)相結(jié)合的部位均安裝有軸承。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴散爐氣體流動優(yōu)化裝置，其特征在于：所述螺旋葉片(11)的外徑與所述連接管(5)的內(nèi)徑相適配。