本發(fā)明涉及末端執(zhí)行器(end?effector)和具有末端執(zhí)行器的基板傳送裝置。
背景技術(shù)：
1、半導(dǎo)體制造工藝是制造能夠處理電信號(hào)的半導(dǎo)體產(chǎn)品的工藝，并且包括通過(guò)諸如氧化、光刻、刻蝕、離子注入和沉積等加工工序來(lái)在晶圓上形成圖案的加工工藝(前端工藝)和通過(guò)對(duì)具有圖案的晶圓進(jìn)行諸如切割、芯片鍵合、布線、成型、標(biāo)記和測(cè)試等工序來(lái)制造成品形狀的半導(dǎo)體封裝的封裝步驟(后端工藝)。在用于執(zhí)行相應(yīng)的工藝的半導(dǎo)體制造設(shè)施處執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝，并且半導(dǎo)體制造設(shè)施各自被配置為在負(fù)載的晶圓上執(zhí)行工藝，然后使晶圓放電。半導(dǎo)體制造設(shè)施具有用于傳送晶圓的一個(gè)或多個(gè)晶圓傳送機(jī)械手。
2、然而，晶圓傳送機(jī)械手可能會(huì)因不同類型材料的接觸而產(chǎn)生摩擦生電而部分地破壞晶圓表面上的納米級(jí)圖案。特別是，在晶圓傳送機(jī)械手是諸如磁懸浮的非接觸式驅(qū)動(dòng)晶圓傳送機(jī)械手的情況下，當(dāng)機(jī)器人被驅(qū)動(dòng)時(shí)，存在高的靜電充電的可能性，并且當(dāng)沒(méi)有適當(dāng)?shù)姆烹姶胧┓乐轨o電充電時(shí)，存在因驅(qū)動(dòng)功率轉(zhuǎn)換單元的部件中產(chǎn)生火花而導(dǎo)致高的用戶觸電事故和部件損害的風(fēng)險(xiǎn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的是提供一種能夠中和帶電基板表面的電荷的末端執(zhí)行器以及具有末端執(zhí)行器的基板傳送裝置。
2、本發(fā)明的目的是提供一種當(dāng)積聚在基板中的靜電電荷達(dá)到閾值電壓時(shí)、可以通過(guò)誘導(dǎo)向基板的相反側(cè)的放電來(lái)防止對(duì)基板的損害的末端執(zhí)行器和具有末端執(zhí)行器的基板傳送裝置。
3、本公開(kāi)內(nèi)容的目的不限于此，并且本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將從以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。
4、根據(jù)本公開(kāi)的一方面，可以提供一種基板傳送裝置，該基板傳送裝置包括：機(jī)械手單元，該機(jī)械手單元安裝在臂部的端部處并且具有支承基板的末端執(zhí)行器；以及移動(dòng)單元，該移動(dòng)單元移動(dòng)機(jī)械手單元，其中，該末端執(zhí)行器包括：本體；支承件，該支承件安裝在本體上并且支承基板的下側(cè)；以及火花隙，該火花隙安裝在本體上，并且該火花隙在積聚在基板上的電荷達(dá)到閾值時(shí)誘導(dǎo)向本體的外部放電。
5、進(jìn)一步地，該火花隙可以具有尖的前端、以將電荷集中在火花隙周圍并誘導(dǎo)放電。
6、進(jìn)一步地，該火花隙可以具有圓形的截面、并且具有其中截面的尺寸朝向端部逐漸減小且前端定位在中心處的形狀。
7、進(jìn)一步地，該本體可以包括：基部部分，該基部部分連接到臂部的端部；以及指狀部分，該指狀部分從基部部分延伸并從基板的邊緣定位在外部、以圍繞安設(shè)區(qū)域，基板定位在安設(shè)區(qū)域中，并且支承件安裝在指狀部分的內(nèi)表面上并且具有預(yù)定間隙，該預(yù)定間隙圍繞安設(shè)區(qū)域一樣。
8、進(jìn)一步地，該火花隙可以水平地安裝在指狀部分的外表面上，并且火花隙設(shè)置成使得前端面向安設(shè)區(qū)域的相對(duì)方向。
9、進(jìn)一步地，該末端執(zhí)行器還可以包括電暈放電電極，該電暈放電電極通過(guò)電暈放電產(chǎn)生離子并通過(guò)離子中和基板的靜電。
10、進(jìn)一步地，該電暈放電電極可以設(shè)置為具有尖的前端的放電引腳(dischargepin)。
11、進(jìn)一步地，該放電引腳的前端可以定位成高于基板的圖案表面。
12、進(jìn)一步地，該移動(dòng)單元可以以無(wú)線功率傳輸類型驅(qū)動(dòng)。
13、根據(jù)本公開(kāi)的另一方面，可以提供一種支承基板的末端執(zhí)行器，該末端執(zhí)行器包括：本體；以及火花隙，該火花隙安裝在本體上，并且該火花隙在積聚在基板上的電荷達(dá)到閾值時(shí)誘導(dǎo)向本體的外部放電。
14、進(jìn)一步地，該火花隙可以具有尖的前端、以將電荷集中在火花隙周圍并誘導(dǎo)放電。
15、進(jìn)一步地，該火花隙可以具有圓形的截面，并且具有其中截面的尺寸朝向端部逐漸減小且前端定位在中心處的形狀。
16、進(jìn)一步地，該本體可以包括：基部部分，該基部部分連接到臂部的端部；指狀部分，該指狀部分從基部部分延伸并從基板的邊緣定位在外部、以圍繞安設(shè)區(qū)域，該基板定位在安設(shè)區(qū)域中；以及支承件，該支承件安裝在指狀部分的內(nèi)表面上并且具有預(yù)定間隙，該預(yù)定間隙如圍繞安設(shè)區(qū)域一樣。
17、進(jìn)一步地，該火花隙可以水平地安裝在指狀部分的外表面上，并且火花隙設(shè)置成使得前端面向安設(shè)區(qū)域的相對(duì)方向。
18、進(jìn)一步地，該末端執(zhí)行器還可以包括電暈放電電極，該電暈放電電極通過(guò)電暈放電產(chǎn)生離子，并通過(guò)離子中和基板的靜電。
19、進(jìn)一步地，該電暈放電電極可以設(shè)置為具有尖的前端的放電引腳。
20、進(jìn)一步地，該放電引腳可以定位成高于該基板的圖案表面。
21、根據(jù)本公開(kāi)的另一方面，可以提供一種基板傳送裝置，該基板傳送裝置包括：機(jī)械手單元，該機(jī)械手單元安裝在臂部的端部處并且具有支承基板的末端執(zhí)行器；以及移動(dòng)單元，該移動(dòng)單元以無(wú)線功率傳輸類型驅(qū)動(dòng)、以移動(dòng)機(jī)械手單元，其中，該末端執(zhí)行器包括：本體，該本體具有指狀部分，該指狀部分從連接到臂部的端部的基部部分延伸并在基板的邊緣定位在外部、以圍繞安設(shè)區(qū)域，基板定位在安設(shè)區(qū)域中；支承件，該支承件安裝在指狀部分的內(nèi)表面上并且具有預(yù)定間隙，該預(yù)定間隙如圍繞安設(shè)區(qū)域一樣；火花隙，該火花隙安裝在指狀部分的外表面上，并且該火花隙在積聚在基板上的電荷達(dá)到閾值時(shí)誘導(dǎo)向本體的外部放電；以及電暈放電電極，該電暈放電電極安裝在指狀部分的頂部上、通過(guò)電暈放電產(chǎn)生離子并通過(guò)離子中和該基板的靜電。
22、進(jìn)一步地，該電暈放電電極設(shè)置為具有尖的前端的放電引腳，該火花隙具有尖的前端、以將電荷集中在火花隙周圍并誘導(dǎo)放電，并且火花隙水平地安裝在指狀部分的外表面上，并且火花隙設(shè)置成使得尖的前端面向安設(shè)區(qū)域的相對(duì)方向。
23、進(jìn)一步地，該放電引腳的前端定位成高于基板的圖案表面。
24、根據(jù)本公開(kāi)的實(shí)施方案，電暈放電電極產(chǎn)生空間電荷并且中和在帶電體(electrified?body)(末端執(zhí)行器、圖案化基板)上積聚的電荷(電荷中和功能)，從而以低成本簡(jiǎn)單且容易地降低帶電物體的電位，并且減小基板之間的電位差。因此，具有能夠降低電弧放電(arcing)風(fēng)險(xiǎn)的效果。
25、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，火花隙(電極)在因基板過(guò)度充電而達(dá)到閾值電壓時(shí)誘導(dǎo)向基板的安設(shè)區(qū)域的相對(duì)側(cè)放電，從而具有能夠防止對(duì)基板的部件的損壞的特定效果。
26、本發(fā)明的效果不限于上述效果，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員將從說(shuō)明書(shū)和附圖中清楚地理解上述未說(shuō)明的效果。
1.一種基板傳送裝置，所述基板傳送裝置包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述火花隙具有尖的前端、以將電荷集中在所述火花隙周圍并誘導(dǎo)放電。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送裝置，其中，所述火花隙具有圓形的截面、并且具有其中所述截面的尺寸朝向端部逐漸減小且所述前端定位在中心處的形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送裝置，其中，所述本體包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板傳送裝置，其中，所述火花隙水平地安裝在所述指狀部分的外表面上，并且所述火花隙設(shè)置成使所述前端面向所述安設(shè)區(qū)域的相對(duì)方向。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送裝置，其中，所述末端執(zhí)行器還包括電暈放電電極，所述電暈放電電極通過(guò)電暈放電產(chǎn)生離子并通過(guò)所述離子中和基板的靜電。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板傳送裝置，其中，所述電暈放電電極設(shè)置為具有尖的前端的放電引腳。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板傳送裝置，其中，所述放電引腳的所述前端定位成高于所述基板的圖案表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述移動(dòng)單元以無(wú)線功率傳輸類型驅(qū)動(dòng)。
10.一種支承基板的末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器包括：
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的末端執(zhí)行器，其中，所述火花隙具有尖的前端、以將電荷集中在所述火花隙周圍并誘導(dǎo)放電。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的末端執(zhí)行器，其中，所述火花隙具有圓形的截面、并且具有其中所述截面的尺寸朝向端部逐漸減小且所述前端定位在中心處的形狀。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的末端執(zhí)行器，其中，所述本體包括：
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的末端執(zhí)行器，其中，所述火花隙水平地安裝在所述指狀部分的外表面上，并且所述火花隙設(shè)置成使得所述前端面向所述安設(shè)區(qū)域的相對(duì)方向。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的末端執(zhí)行器，其中，所述末端執(zhí)行器還包括電暈放電電極，所述電暈放電電極通過(guò)電暈放電產(chǎn)生離子并通過(guò)所述離子中和基板的靜電。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的末端執(zhí)行器，其中，所述電暈放電電極設(shè)置為具有尖的前端的放電引腳。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的末端執(zhí)行器，其中，所述放電引腳定位成高于所述基板的圖案表面。
18.一種基板傳送裝置，所述基板傳送裝置包括：
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的基板傳送裝置，其中，所述電暈放電電極設(shè)置為具有尖的前端的放電引腳，
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板傳送裝置，其中，所述放電引腳的所述前端定位成高于所述基板的圖案表面。