本發(fā)明涉及尾氣處理設(shè)備，具體涉及一種多通道氣閥。
背景技術(shù)：
1、在泛半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，會(huì)產(chǎn)生大量的尾氣，例如，含硅元素的氣體(甲硅烷、二氯二氫硅烷和teos等)、全氟化合物氣體(pfcs，四氟甲烷、六氟化硫、三氟化氮等)和氫氣，這些尾氣普遍具有易燃、有毒、高溫室效應(yīng)等性質(zhì)，處理不當(dāng)會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的安全事故，造成重大經(jīng)濟(jì)損失，也會(huì)對(duì)人和環(huán)境造成嚴(yán)重威脅。
2、現(xiàn)有用于上述尾氣處理設(shè)備，其配備的真空腔一般都是的單通道的，無法滿足尾氣處理設(shè)備的需求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明提供了一種多通道氣真空腔，滿足尾氣處理設(shè)備的需求。
2、本發(fā)明的技術(shù)方案：
3、一種多通道真空腔，所述真空腔包括外套、內(nèi)芯，所述內(nèi)芯旋轉(zhuǎn)安裝外套內(nèi)，在外套與內(nèi)芯之間形成若干環(huán)形氣室，所述內(nèi)芯內(nèi)設(shè)置有若干氣道，各氣道的進(jìn)口位于內(nèi)芯的外周面上、軸向錯(cuò)開，各氣道的出口位于內(nèi)芯的外周面上、徑向圍成一圈，所述外套上安裝有若干進(jìn)氣管、若干出氣管；各進(jìn)氣管與各環(huán)形氣室一一對(duì)應(yīng)連接，各環(huán)形氣室與各氣道的進(jìn)口一一對(duì)應(yīng)連接，各出氣管與各氣道的出口一一對(duì)應(yīng)、并隨內(nèi)芯旋轉(zhuǎn)與對(duì)應(yīng)氣道的出口連接或斷開連接。
4、所述外套內(nèi)腔為錐形，其大端口為開口，供內(nèi)芯插入、并安裝到外套內(nèi)，所述內(nèi)芯為錐形。
5、所述外套與內(nèi)芯安裝有若干密封圈，通過各密封圈分隔外套與內(nèi)芯之間的間隙空間形成各環(huán)形氣室。
6、所述外套的內(nèi)周面和/或內(nèi)芯的外周面上分布設(shè)置有若干環(huán)槽，各環(huán)槽分別作為各環(huán)形氣室的一部分；各氣道的進(jìn)口分布位于各環(huán)槽內(nèi)。
7、所述內(nèi)芯的外周面上設(shè)置大環(huán)槽，各氣道的出口位于大環(huán)槽內(nèi)，所述大環(huán)槽內(nèi)嵌裝由若干膠塊，各膠塊首尾相連、其外周面與外套內(nèi)周面接觸，各出氣管與對(duì)應(yīng)氣道的出口通過各膠塊上的孔連接。
8、各膠塊之間以及各膠塊與內(nèi)芯、外套之間安裝有膠條。
9、本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，利用環(huán)形氣室與氣道配合構(gòu)建多通道，并通過內(nèi)芯的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)多通道的打開與關(guān)閉，滿足尾氣處理設(shè)備的需求；基于上述結(jié)構(gòu)，若外套內(nèi)腔和內(nèi)芯采用柱形結(jié)構(gòu)，必然會(huì)使得裝配困難（緊配）、難以保證二者之間的密封（密封圈移位），為此，進(jìn)一步優(yōu)化，采用錐形結(jié)構(gòu)，使得裝配簡(jiǎn)單、能夠有效保證二者之間密封（密封圈不易發(fā)生移位）。
1.一種多通道真空腔，其特征在于，所述真空腔包括外套、內(nèi)芯，所述內(nèi)芯旋轉(zhuǎn)安裝外套內(nèi)，在外套與內(nèi)芯之間形成若干環(huán)形氣室，所述內(nèi)芯內(nèi)設(shè)置有若干氣道，各氣道的進(jìn)口位于內(nèi)芯的外周面上、軸向錯(cuò)開，各氣道的出口位于內(nèi)芯的外周面上、徑向圍成一圈，所述外套上安裝有若干進(jìn)氣管、若干出氣管；各進(jìn)氣管與各環(huán)形氣室一一對(duì)應(yīng)連接，各環(huán)形氣室與各氣道的進(jìn)口一一對(duì)應(yīng)連接，各出氣管與各氣道的出口一一對(duì)應(yīng)、并隨內(nèi)芯旋轉(zhuǎn)與對(duì)應(yīng)氣道的出口連接或斷開連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道真空腔，其特征在于，所述外套內(nèi)腔為錐形，其大端口為開口，供內(nèi)芯插入、并安裝到外套內(nèi)，所述內(nèi)芯為錐形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道真空腔，其特征在于，所述外套與內(nèi)芯安裝有若干密封圈，通過各密封圈分隔外套與內(nèi)芯之間的間隙空間形成各環(huán)形氣室。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道真空腔，其特征在于，所述外套的內(nèi)周面和/或內(nèi)芯的外周面上分布設(shè)置有若干環(huán)槽，各環(huán)槽分別作為各環(huán)形氣室的一部分；各氣道的進(jìn)口分布位于各環(huán)槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道真空腔，其特征在于，所述內(nèi)芯的外周面上設(shè)置大環(huán)槽，各氣道的出口位于大環(huán)槽內(nèi)，所述大環(huán)槽內(nèi)嵌裝由若干膠塊，各膠塊首尾相連、其外周面與外套內(nèi)周面接觸，各出氣管與對(duì)應(yīng)氣道的出口通過各膠塊上的孔連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多通道真空腔，其特征在于，各膠塊之間以及各膠塊與內(nèi)芯、外套之間安裝有膠條。