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一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置及方法與流程

文檔序號:42326683發(fā)布日期:2025-07-01 19:45閱讀:15來源:國知局

本發(fā)明屬于太陽電池,具體涉及一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置及方法。


背景技術(shù):

1、topcon太陽電池的制造包括清洗制絨、擴散、氧化、退火、pe-poly、ald、pecvd、絲網(wǎng)印刷等工序,topcon太陽電池常規(guī)電極制備技術(shù)路線為絲網(wǎng)印刷+燒結(jié)+光注入退火+激光輔助燒結(jié),光注入退火所需光照強度在10~60kwh/m2,溫度在600°c以上,導(dǎo)致設(shè)備及電力成本高;

2、topcon太陽電池具有量產(chǎn)效率高(理論極限效率為28.7%,高于hjt的理論極限效率27.5%)、優(yōu)異的鈍化效果、制程可與現(xiàn)有產(chǎn)線兼容、工藝成熟等優(yōu)點,但是topcon太陽電池及組件對紫外線誘導(dǎo)衰減(uvid)敏感。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決上述背景技術(shù)中提出的問題,本發(fā)明提供一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置及方法,以解決現(xiàn)有技術(shù)中退火工藝電力成本高,以及topcon太陽電池及組件對紫外線誘導(dǎo)衰減(uvid)敏感的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:

3、一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置,包括:

4、裝置外殼;裝置外殼為不透光材質(zhì)的盒體結(jié)構(gòu),裝置外殼兩個相對的側(cè)面上各設(shè)有一個傳送通孔;

5、傳送帶;傳送帶依次穿過兩個傳送通孔貫穿裝置外殼設(shè)置,topcon太陽電池放置在傳送帶上,傳送帶用于帶動topcon太陽電池穿過裝置外殼;

6、紫外發(fā)光裝置;紫外發(fā)光裝置設(shè)置在裝置外殼的內(nèi)頂面,紫外發(fā)光裝置的發(fā)光端指向傳送帶設(shè)置,紫外發(fā)光裝置的光輻照強度為100-300w/m2。

7、優(yōu)選的,紫外發(fā)光裝置為至少一個紫外燈。

8、優(yōu)選的,紫外燈發(fā)出的紫外線包括uva、uvb兩種類型,其中,uvb占3-9%,波長為280-400nm。

9、一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的方法,包括以下步驟:

10、s1:制備topcon太陽電池;

11、s2:將topcon太陽電池放置在傳送帶上,傳送帶帶動topcon太陽電池移動至裝置外殼內(nèi);

12、s3:開啟紫外發(fā)光裝置對位于裝置外殼內(nèi)的topcon太陽電池正面進行紫外光輻照;

13、s4:將經(jīng)紫外光輻照后的topcon太陽電池通過傳送帶送出裝置外殼后,進行激光輔助燒結(jié)。

14、優(yōu)選的,s1具體包括以下步驟:

15、s1.1:制備n型硅基底,對硅基底進行制絨,去除表面雜質(zhì),形成金字塔結(jié)構(gòu);

16、s1.2:在硅基底正面進行硼擴散,形成硼擴散摻雜層;

17、s1.3:對硅基底正面進行高溫氧化,在硼擴散摻雜層上推進pn結(jié)形成硼硅玻璃bsg;

18、s1.4:去除硅基底背面繞鍍的硼硅玻璃bsg,并進行拋光處理;

19、s1.5:在硅基底背面通過等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)依次沉積隧穿氧化層和摻磷多晶硅層;

20、s1.6:通過rca工藝去除硅基底正面及邊緣的磷硅玻璃;

21、s1.7:再通過原子層沉積和等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在硅基底正面和背面均形成氧化鋁和氮化硅雙層結(jié)構(gòu);

22、s1.8:絲網(wǎng)印刷硅基底的正背面電極,進行高溫燒結(jié)。

23、優(yōu)選的,s3中,紫外光輻照強度為100-300w/m2,輻照時間為10-60s,溫度為室溫。

24、優(yōu)選的,s4中,激光輔助燒結(jié)時的偏轉(zhuǎn)電壓設(shè)置為10-15v,激光功率設(shè)置為20%-35%,時間為1-1.5s。

25、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:

26、本申請對電池的絲網(wǎng)工藝進行優(yōu)化,通過低溫快速紫外輻照預(yù)處理取代光注入退火工藝,降低了設(shè)備成本及電力成本,本申請通過低溫快速紫外輻照預(yù)處理將電池內(nèi)部弱的si-h鍵打斷,提升電池鈍化性能,從而提高電池效率,并且可以提高topcon太陽電池及組件的抗uv衰減性能。



技術(shù)特征:

1.一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置,其特征在于,紫外發(fā)光裝置為至少一個紫外燈(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置,其特征在于,紫外燈(4)發(fā)出的紫外線包括uva、uvb兩種類型,其中,uvb占3-9%,波長為280-400nm。

4.一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的方法,應(yīng)用于權(quán)利要求1-3任一項所述的低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置,其特征在于,包括以下步驟:

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的方法,其特征在于,s1具體包括以下步驟:

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的方法,其特征在于,s3中,紫外光輻照強度為100-300w/m2,輻照時間為10-60s,溫度為室溫。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的方法,其特征在于,s4中,激光輔助燒結(jié)時的偏轉(zhuǎn)電壓設(shè)置為10-15v,激光功率設(shè)置為20%-35%,時間為1-1.5s。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種低溫快速預(yù)處理提高太陽電池效率的裝置及方法,屬于太陽電池技術(shù)領(lǐng)域,裝置包括裝置外殼、傳送帶和紫外發(fā)光裝置,傳送帶貫穿裝置外殼設(shè)置,紫外發(fā)光裝置設(shè)置在裝置外殼內(nèi),方法包括:制備TOPCon太陽電池,將TOPCon太陽電池放置在傳送帶上,TOPCon太陽電池移動至裝置外殼內(nèi)時,開啟紫外發(fā)光裝置對TOPCon太陽電池正面進行紫外光輻照,TOPCon太陽電池通過傳送帶送出裝置外殼后,進行激光輔助燒結(jié),本申請通過低溫快速紫外輻照預(yù)處理取代光注入退火工藝,降低了設(shè)備成本及電力成本,且低溫快速紫外輻照預(yù)處理可打斷電池內(nèi)部弱的Si?H鍵,提升電池鈍化性能,從而提高電池效率,并且可以提高TOPCon太陽電池及組件的抗UV衰減性能。

技術(shù)研發(fā)人員:李月鵬,俞健,袁正國,黃欣雨,謝毅
受保護的技術(shù)使用者:和光同程光伏科技(宜賓)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/6/30
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