本公開涉及真空設(shè)備，特別涉及一種加熱視窗以及真空處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
1、在真空鍍膜技術(shù)，例如分子束外延(mbe)系統(tǒng)中，普遍存在材料沉積在視窗玻璃上的問題。加熱是一種處理視窗上的材料沉積的方法。目前的加熱視窗主要有兩種結(jié)構(gòu)，一種是直接在玻璃上鍍金屬薄膜，通過給金屬薄膜通電加熱的方式來對玻璃進行加熱，此種結(jié)構(gòu)長期使用可能存在金屬薄膜被腐蝕、脫落、衰減和系統(tǒng)污染等問題，而且加熱溫度有限制，溫度太高容易造成金屬薄膜脫落。另一種是在真空外進行加熱，通過熱傳導和熱輻射將真空內(nèi)的玻璃進行加熱，但是此種方法有可能造成真空腔體外壁過熱，有真空系統(tǒng)泄漏的風險，同時熱損失比較嚴重，加熱效率較低。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本公開提供了一種加熱視窗，包括：
2、視窗主體，包括加熱器組件容納孔；
3、加熱器組件，設(shè)置在視窗主體的加熱器組件容納孔內(nèi)，加熱器組件包括加熱器主體和透光板容納孔；以及
4、透光板，設(shè)置在加熱器組件的透光板容納孔內(nèi)，加熱器組件用于對透光板進行加熱。
5、在本公開的一些實施例中，加熱器主體上沿周向間隔設(shè)置有多個卡槽；
6、加熱器組件還包括多個卡件，分別設(shè)置在多個卡槽中，用于固定透光板。
7、在本公開的一些實施例中，加熱器組件還包括抱箍，抱箍沿周向圍繞加熱器主體的外壁，并與多個卡件固定連接。
8、在本公開的一些實施例中，視窗主體還包括與加熱器組件容納孔連通的饋通孔，
9、加熱視窗還包括饋通，與視窗主體的饋通孔連接，饋通包括第一饋通電極和第二饋通電極，
10、加熱器組件還包括第一加熱器電極和第二加熱器電極，分別與第一饋通電極和第二饋通電極連接，形成閉環(huán)通路。
11、在本公開的一些實施例中，加熱器主體的一端設(shè)置有第一凸起，第一加熱器電極和第二加熱器電極設(shè)置于第一凸起上；和/或
12、加熱器主體的另一端設(shè)置有至少一個第二凸起，視窗主體包括至少一個定位凹槽，至少一個第二凸起容納于至少一個定位凹槽內(nèi)，以對加熱器主體與視窗主體進行安裝定位。
13、在本公開的一些實施例中，加熱器主體為熱解氮化硼(pbn)-熱解石墨(pg)-pbn復合加熱器，pbn-pg-pbn復合加熱器包括：
14、pbn基體，pbn基體包括中空腔體，以形成透光板容納孔；
15、pg涂層，涂覆于所述pbn基體的外壁上，所述的pg涂層設(shè)計成加熱回路結(jié)構(gòu)，回路兩端分別與所述第一加熱器電極和所述第二加熱器電極連接；以及
16、pbn涂層，涂覆于pg涂層上。
17、在本公開的一些實施例中，饋通還包括：
18、第一彈性電極片，遠端與第一加熱器電極連接，近端與第一饋通電極抵接；
19、第二彈性電極片，遠端與第二加熱器電極連接，近端與第二饋通電極抵接。
20、在本公開的一些實施例中，饋通還包括：
21、第一連接套管，第一饋通電極的遠端與第一彈性電極片的近端均設(shè)置于第一連接套管內(nèi)并且接觸，以形成穩(wěn)定的電路連接；
22、第二連接套管，第二饋通電極的遠端與第二彈性電極片的近端均設(shè)置于第二連接套管內(nèi)并且接觸，以形成穩(wěn)定的電路連接；
23、和/或
24、第一彈性電極片和第二彈性電極片均呈l型。
25、在本公開的一些實施例中，第一加熱器電極包括第一加熱器電極通孔，第一彈性電極片的遠端設(shè)置有第一彈性電極片通孔，
26、第二加熱器電極包括第二加熱器電極通孔，第二彈性電極片的遠端設(shè)置有第二彈性電極片通孔，
27、饋通還包括緊固組件，緊固組件包括：
28、第一螺釘和第一螺母，用于通過第一加熱器電極通孔和第一彈性電極片通孔連接第一加熱器電極和第一彈性電極片；以及
29、第二螺釘和第二螺母，用于通過第二加熱器電極通孔與第二彈性電極片通孔連接第二加熱器電極和第二彈性電極片。
30、在本公開的一些實施例中，緊固組件還包括：
31、第一柔性墊片和第一弧形墊片，依次設(shè)置在第一螺釘和第一彈性電極片之間；
32、第一薄墊片、第一蝶形墊片和第一平墊片，依次設(shè)置在第一加熱器電極和第一螺母之間；和/或
33、第二柔性墊片和第二弧形墊片，依次設(shè)置在第二螺釘和第二彈性電極片之間；
34、第二薄墊片、第二蝶形墊片和第二平墊片，依次設(shè)置在第二加熱器電極和第二螺母之間。
35、在本公開的一些實施例中，加熱視窗還包括：
36、環(huán)形隔熱片，外圈與加熱器主體的內(nèi)壁抵接，內(nèi)圈包括凹陷部，凹陷部與加熱器主體的第一凸起適配，并套設(shè)在第一凸起上，且環(huán)形隔熱片覆蓋加熱器主體位于第一凸起一端的前端面；和/或
37、隔熱筒，套設(shè)于視窗主體內(nèi)，并用于容納加熱器組件；和/或
38、擋圈，安裝于視窗主體內(nèi)部的卡槽內(nèi)。
39、本公開提供了一種真空處理系統(tǒng)，包括：
40、真空腔，包括窗口；
41、根據(jù)本公開任意一項實施例總的加熱視窗，加熱視窗的視窗主體的遠端與窗口真空密封連接；
42、至少一個蒸發(fā)源，設(shè)置在真空腔內(nèi)；和/或
43、外側(cè)真空密封視窗，與加熱視窗的視窗主體的近端密封連接。
44、根據(jù)本公開一些實施例的加熱視窗以及真空處理系統(tǒng)能夠帶來有益的技術(shù)效果。例如，本公開一些實施例的加熱視窗以及真空處理系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡單，沒有污染腔體的風險，并能夠承受較高的加熱溫度。又例如，本公開一些實施例的加熱視窗以及真空處理系統(tǒng)，對加熱視窗的透光板的加熱均勻性良好，并且加熱溫度穩(wěn)定，使用壽命長，可以有效處理視窗上的材料沉積問題。再例如，本公開一些實施例的加熱視窗以及真空處理系統(tǒng)，對束流有遮擋作用，能夠有效保護例如外側(cè)真空密封視窗。
1.一種加熱視窗，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱視窗，其特征在于，所述加熱器主體上沿周向間隔設(shè)置有多個卡槽；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱視窗，其特征在于，所述加熱器組件還包括抱箍，所述抱箍沿周向圍繞所述加熱器主體的外壁，并與所述多個卡件固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱視窗，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱視窗，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加熱視窗，其特征在于，所述加熱器主體為熱解氮化硼(pbn)-熱解石墨(pg)-pbn復合加熱器，所述熱解氮化硼(pbn)-熱解石墨(pg)-pbn復合加熱器包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱視窗，其特征在于，所述饋通還包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加熱視窗，其特征在于，
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加熱視窗，其特征在于，
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加熱視窗，其特征在于，所述緊固組件還包括：
11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加熱視窗，其特征在于，還包括：
12.一種真空處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：