本發(fā)明屬于化學(xué)鎳設(shè)備，具體涉及一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件，如腔體部件、傳輸部件、噴嘴、基座等，通常工作在高溫、強(qiáng)腐蝕性氣體或等離子體環(huán)境中，因此對(duì)表面涂層的性能要求極為嚴(yán)格。由于半導(dǎo)體制造環(huán)境對(duì)潔凈度、耐腐蝕性及耐磨損性要求極高，關(guān)鍵零部件通常需要進(jìn)行表面處理以提升其性能?；瘜W(xué)鍍鎳是一種無(wú)需外加電源的自催化還原反應(yīng)，通過(guò)將金屬基材浸入含有鎳鹽、還原劑及穩(wěn)定劑的鍍液中，使鎳均勻沉積在基材表面。與傳統(tǒng)電鍍相比，化學(xué)鍍鎳可以在形狀復(fù)雜的零部件表面形成均勻的鍍層，且不受基材導(dǎo)電性影響。

2、在化學(xué)鍍鎳過(guò)程中，氣泡的產(chǎn)生是一個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題，尤其是在形狀復(fù)雜的半導(dǎo)體設(shè)備零部件表面，氣泡可能會(huì)滯留在局部區(qū)域，導(dǎo)致鍍層缺陷，如針孔、鍍層不均勻或脫落。如果氣泡不能及時(shí)逸出，會(huì)在局部區(qū)域形成鍍層空缺，影響涂層的連續(xù)性。適當(dāng)移動(dòng)零部件可以改變鍍液的流動(dòng)狀態(tài)，使氣泡更容易從表面脫離，避免氣泡屏蔽鍍液與基材的接觸。連續(xù)輕微晃動(dòng)或緩慢旋轉(zhuǎn)工件可防止氣泡在特定區(qū)域聚集，確保鍍液均勻覆蓋整個(gè)表面。同時(shí)，零部件移動(dòng)能夠促進(jìn)鍍液的流動(dòng)，使新鮮的鍍液不斷補(bǔ)充到反應(yīng)界面，提高化學(xué)反應(yīng)效率。

3、中國(guó)發(fā)明專利cn?216856492?u3公開(kāi)了一種用于電路板化學(xué)沉鎳鈀金生產(chǎn)線的震蕩裝置，可使印刷電路板在藥缸中浸泡的過(guò)程中進(jìn)行震蕩晃動(dòng)，保證震蕩時(shí)長(zhǎng)，可提高印刷電路板的化學(xué)處理速度與程度。但這種生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)不適用于單臺(tái)設(shè)備的作業(yè)，同時(shí)動(dòng)作相對(duì)簡(jiǎn)單，無(wú)法實(shí)現(xiàn)三個(gè)方向維度上的復(fù)合移動(dòng)，除泡效果不好。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述不足，本發(fā)明要解決的問(wèn)題是現(xiàn)有的化學(xué)鎳設(shè)備，對(duì)高精密、復(fù)雜形狀的半導(dǎo)體零部件，無(wú)法有效去除表面氣泡，缺陷可能會(huì)降低零部件的耐腐蝕性、耐磨性，并影響其在半導(dǎo)體制造環(huán)境中的穩(wěn)定性。本發(fā)明提供一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，采用3d搖擺晃動(dòng)，可防止氣泡在特定區(qū)域聚集，確保鍍液均勻覆蓋半導(dǎo)體零部件整個(gè)表面。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明公開(kāi)一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，包括外槽、內(nèi)槽、支架、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、橫移機(jī)構(gòu)、縱移機(jī)構(gòu)、搖擺架、工件懸吊架，

3、所述內(nèi)槽安裝在外槽內(nèi)，工件在內(nèi)槽內(nèi)進(jìn)行化學(xué)鎳反應(yīng)，外槽外圍安裝有支架，

4、所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)偏心輪、調(diào)節(jié)桿、聯(lián)動(dòng)搖桿、驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸上安裝有驅(qū)動(dòng)搖桿和聯(lián)動(dòng)搖桿；驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)偏心輪通過(guò)調(diào)節(jié)桿、驅(qū)動(dòng)搖桿，帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸做一定角度范圍的往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)；

5、驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)搖桿，驅(qū)動(dòng)軸的聯(lián)動(dòng)搖桿與從動(dòng)軸的聯(lián)動(dòng)搖桿之間安裝有聯(lián)動(dòng)桿，驅(qū)動(dòng)軸、從動(dòng)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，

6、所述升降機(jī)構(gòu)、橫移機(jī)構(gòu)、縱移機(jī)構(gòu)有兩組，對(duì)稱設(shè)置在外側(cè)兩側(cè)，分別由驅(qū)動(dòng)軸、從動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)，同步運(yùn)動(dòng)；搖擺架位于外側(cè)上部，

7、所述升降機(jī)構(gòu)包括吊帶夾板組件、升降桿、升降導(dǎo)向組件、豎向驅(qū)動(dòng)架、托輪組件，所述吊帶夾板組件包括固連在驅(qū)動(dòng)軸或從動(dòng)軸上的吊帶、鎖緊在吊帶上的夾板、連接板，所述連接板上固定連接有升降桿，所述升降桿豎向設(shè)置，升降桿插接在升降導(dǎo)向組件內(nèi)，所述升降桿上部連接有豎向驅(qū)動(dòng)架，豎向驅(qū)動(dòng)架上安裝有托輪組件，所述托輪組件設(shè)置有上輥輪和下輥輪，上輥輪和下輥輪套接在搖擺架上，驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)通過(guò)升降桿帶動(dòng)搖擺架上下移動(dòng)，

8、所述橫移機(jī)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)偏心輪、聯(lián)動(dòng)撥桿、橫向凸輪槽板，所述聯(lián)動(dòng)偏心輪安裝在驅(qū)動(dòng)軸或從動(dòng)軸端部，聯(lián)動(dòng)撥桿底部設(shè)置有矩形框，聯(lián)動(dòng)偏心輪上的凸輪隨動(dòng)器插接在所述矩形框內(nèi)，聯(lián)動(dòng)偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)和回轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)聯(lián)動(dòng)撥桿上升和下降；聯(lián)動(dòng)撥桿頂部安裝有凸輪隨動(dòng)器，凸輪隨動(dòng)器的凸輪插接在橫向凸輪槽板的斜向的條形槽內(nèi)，橫向凸輪槽板固連在搖擺架上，聯(lián)動(dòng)撥桿升降時(shí)帶動(dòng)搖擺架左右移動(dòng)，

9、所述縱移機(jī)構(gòu)包括縱向凸輪槽板、v座固定板、縱移導(dǎo)軌、導(dǎo)軌支架，豎向驅(qū)動(dòng)架連接有縱向凸輪槽板，縱向凸輪槽板水平設(shè)置，縱向凸輪槽板內(nèi)設(shè)置有斜向的條形槽，v座固定板下部連接有凸輪隨動(dòng)器，凸輪隨動(dòng)器插接在縱向凸輪槽板的條形槽內(nèi)，導(dǎo)軌支架有兩個(gè)，對(duì)稱固定連接在搖擺架上；縱移導(dǎo)軌有兩個(gè)，安裝在v座固定板兩側(cè)，導(dǎo)軌支架上安裝有凸輪且凸輪與縱移導(dǎo)軌配合；搖擺架相對(duì)豎向驅(qū)動(dòng)架移動(dòng)時(shí)，縱向凸輪槽板驅(qū)動(dòng)v座固定板相對(duì)導(dǎo)軌支架縱向移動(dòng)，

10、v座固定板上安裝有v型座，兩側(cè)v型座之間活動(dòng)連接有工件懸吊架，工件懸吊架下吊裝待反應(yīng)的工件。

11、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述支架包括左側(cè)支撐架、右側(cè)支撐架、連接桿，左側(cè)支撐架、右側(cè)支撐架分別支撐驅(qū)動(dòng)部分和從動(dòng)部分的的橫移機(jī)構(gòu)、縱移機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)，連接桿有四根以上，連接桿連接左側(cè)支撐架、右側(cè)支撐架。

12、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)與驅(qū)動(dòng)偏心輪之間安裝有減速箱，驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在支架上。

13、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，每組升降機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)吊帶夾板組件、升降桿、升降導(dǎo)向組件，對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)升降桿頂部連接豎向驅(qū)動(dòng)架。

14、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述搖擺架為矩形框體，圍繞在內(nèi)槽外側(cè)。

15、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述升降桿升降截面為菱形，導(dǎo)向組件包括兩塊固定板，其中一塊固定板安裝在支架上，兩塊固定板之間插接有兩個(gè)以上導(dǎo)向輪，所述導(dǎo)向輪中部設(shè)置有v型槽，所述升降桿嵌入所述v型槽。

16、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述聯(lián)動(dòng)撥桿側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌安裝在豎向柱上，聯(lián)動(dòng)撥桿側(cè)面通過(guò)滑塊與導(dǎo)軌配合。

17、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述升降桿上升時(shí)，聯(lián)動(dòng)撥桿下降；升降桿下降時(shí)，聯(lián)動(dòng)撥桿上升；聯(lián)動(dòng)撥桿的凸輪隨動(dòng)器對(duì)橫向凸輪槽板施加反向力，平衡搖擺架的升降幅度，提高穩(wěn)定性。

18、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述豎向驅(qū)動(dòng)架通過(guò)鏤空板連接縱向凸輪槽板，所述縱向凸輪槽板、橫向凸輪槽板都設(shè)置有鏤空孔進(jìn)行減重。

19、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述v座固定板下部安裝有兩組凸輪隨動(dòng)器，縱向凸輪槽板上設(shè)置有兩個(gè)斜向條形槽與所述凸輪隨動(dòng)器配合。

20、根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例或前述任一實(shí)施例的化學(xué)鎳裝置，其中，所述v型座有四個(gè)，兩兩對(duì)稱設(shè)置有工件懸吊架兩側(cè)的v座固定板上。

21、本發(fā)明的有益效果：

22、本發(fā)明所述的三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)、橫移機(jī)構(gòu)、縱移機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)工件懸吊架的三維搖擺，使半導(dǎo)體零部件更為立體移動(dòng)，改變鍍液的流動(dòng)狀態(tài)，使氣泡更容易從表面脫離，避免氣泡屏蔽鍍液與基材的接觸。還能促進(jìn)鍍液的流動(dòng)，使新鮮的鍍液不斷補(bǔ)充到反應(yīng)界面，提高化學(xué)反應(yīng)效率。從而提高半導(dǎo)體零部件化學(xué)鍍鎳的質(zhì)量，使零部件在高要求的半導(dǎo)體制造環(huán)境中具有優(yōu)異的耐腐蝕性、耐磨性和穩(wěn)定性。