1.一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，包括外槽(1)、內(nèi)槽(10)、支架(2)、驅(qū)動機構(gòu)、升降機構(gòu)、橫移機構(gòu)、縱移機構(gòu)、搖擺架(9)、工件懸吊架(20)，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述支架(2)包括左側(cè)支撐架、右側(cè)支撐架、連接桿，左側(cè)支撐架、右側(cè)支撐架分別支撐驅(qū)動部分和從動部分的的橫移機構(gòu)、縱移機構(gòu)、升降機構(gòu)，連接桿有四根以上，連接桿連接左側(cè)支撐架、右側(cè)支撐架。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述驅(qū)動電機(3)與驅(qū)動偏心輪之間安裝有減速箱，驅(qū)動電機(3)安裝在支架(2)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：每組升降機構(gòu)包括兩個吊帶夾板組件(11)、升降桿(12)、升降導(dǎo)向組件(13)，對稱設(shè)置，兩個升降桿(12)頂部連接豎向驅(qū)動架(21)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述搖擺架(9)為矩形框體，圍繞在內(nèi)槽(10)外側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述升降桿(12)升降截面為菱形，導(dǎo)向組件包括兩塊固定板，其中一塊固定板安裝在支架(2)上，兩塊固定板之間插接有兩個以上導(dǎo)向輪，所述導(dǎo)向輪中部設(shè)置有v型槽，所述升降桿(12)嵌入所述v型槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述聯(lián)動撥桿(7)側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌安裝在豎向柱上，聯(lián)動撥桿(7)側(cè)面通過滑塊與導(dǎo)軌配合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述升降桿(12)上升時，聯(lián)動撥桿(7)下降；升降桿(12)下降時，聯(lián)動撥桿(7)上升；聯(lián)動撥桿(7)的凸輪隨動器對橫向凸輪槽板(8)施加反向力，平衡搖擺架(9)的升降幅度，提高穩(wěn)定性。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述豎向驅(qū)動架(21)通過鏤空板連接縱向凸輪槽板(19)，所述縱向凸輪槽板(19)、橫向凸輪槽板(8)都設(shè)置有鏤空孔進行減重。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三維搖擺的半導(dǎo)體零部件化學(xué)鎳裝置，其特征在于：所述v座固定板(18)下部安裝有兩組凸輪隨動器，縱向凸輪槽板(19)上設(shè)置有兩個斜向條形槽與所述凸輪隨動器配合；所述v型座(22)有四個，兩兩對稱設(shè)置有工件懸吊架(20)兩側(cè)的v座固定板(18)上。