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本發(fā)明涉及一種納米結(jié)構(gòu)的構(gòu)筑方法，尤其涉及一種3d微/納米結(jié)構(gòu)的構(gòu)筑方法。在微/納米尺度下，材料的電子、光子及聲子運(yùn)動(dòng)規(guī)律受到其微觀(guān)結(jié)構(gòu)的限制，這種微/納米結(jié)構(gòu)的限域效應(yīng)使其具有許多新穎的物理和化學(xué)性質(zhì)，在信息、材料、能源和環(huán)境等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。因此，微/納米結(jié)構(gòu)材料的加工制備技術(shù)...

本發(fā)明涉及mems，特別涉及一種臺(tái)階結(jié)構(gòu)的制作方法及振動(dòng)檢測(cè)裝置。采用表面工藝制作的微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechnicsystem，mems)是以硅片為基體，通過(guò)多次薄膜淀積和圖形加工制備形成的集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、信號(hào)處理電路、信號(hào)控制電路以及微型執(zhí)行器接口...

本發(fā)明是一種低成本、宏量制備碳納米鏈@金網(wǎng)絡(luò)膜的方法，屬于貴金屬微納結(jié)構(gòu)的制備領(lǐng)域。由于在催化、傳感、燃料電池等方面具有優(yōu)異性能和潛在應(yīng)用，金多孔薄膜引起廣泛的研究興趣。表面增強(qiáng)拉曼散射（sers）方面，這種薄膜也是極好的sers襯底，這是因?yàn)樗鼈儞碛懈呙芏鹊膕ers熱點(diǎn)以及大的比表面可用...

本申請(qǐng)涉及納米圖案印刷，特別是涉及一種離子束誘導(dǎo)的液膜圖案化印刷方法。在微納米尺度驅(qū)動(dòng)液體流動(dòng)并形成圖案化形狀這項(xiàng)技術(shù)在很多生產(chǎn)生活領(lǐng)域都有非常重要的應(yīng)用，例如：打印和油墨印刷、微流控系統(tǒng)、芯片上實(shí)驗(yàn)室裝置，這項(xiàng)技術(shù)使得化學(xué)反應(yīng)和生物分析可以在納米尺度進(jìn)行。已經(jīng)有一些技術(shù)方案用于驅(qū)...

本公開(kāi)總體上涉及半導(dǎo)體器件及其制造方法，并且更具體地涉及具有應(yīng)力消除機(jī)制的微機(jī)電系統(tǒng)(mems)元件。微機(jī)電系統(tǒng)(mems)是微觀(guān)設(shè)備，尤其是具有運(yùn)動(dòng)部件的設(shè)備。一旦可以使用通常用于制造電子產(chǎn)品的改進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造技術(shù)來(lái)制造mems，mems就變得實(shí)用。因此，mems可以作為集成電路的組...

本實(shí)用新型涉及一種氣體傳感器，特別涉及一種微型半導(dǎo)體氣敏傳感器，屬于電子器件。氣體傳感器廣泛應(yīng)用于檢測(cè)可燃性氣體、有毒氣體以及大氣成分，以mems工藝為基礎(chǔ)的微熱板式氣體傳感器以其低功耗、體積小、易集成的特點(diǎn)成為當(dāng)前氣體傳感器領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)，現(xiàn)有mems氣體傳感器多采用鉑金為加熱絲...

本實(shí)用新型涉及的是一種電熱式mems驅(qū)動(dòng)臂，屬于微機(jī)械電子系統(tǒng)領(lǐng)域?；跓犭p層材料（bimorph）結(jié)構(gòu)的電熱式mems驅(qū)動(dòng)臂通過(guò)對(duì)導(dǎo)電回路層（加熱電阻層）施加電壓產(chǎn)生的焦耳熱對(duì)器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，具有大轉(zhuǎn)角、大位移、低驅(qū)動(dòng)電壓等優(yōu)點(diǎn)?，F(xiàn)有電熱mems器件加熱電阻層的制作工藝（如cn1060...

本發(fā)明涉及基因檢測(cè)領(lǐng)域，特別涉及一種硅基固態(tài)納米孔及制備方法、硅基固態(tài)納米孔測(cè)序儀。納米孔測(cè)序是在電解質(zhì)溶液中，使用電泳法把一個(gè)未知的樣品傳輸并通過(guò)直徑為納米級(jí)的穿孔。當(dāng)在納米孔的兩端施加恒定電場(chǎng)，觀(guān)察納米孔測(cè)序儀中的電流。硅基固態(tài)納米孔表面的電流密度取決于納米孔的尺寸以及占據(jù)納米孔的dn...

本發(fā)明涉及領(lǐng)域，尤其涉及，具體為一種制備水下新型展向溝槽微結(jié)構(gòu)減阻表面的方法，可有效降低航行體在水中航行時(shí)表面的摩擦阻力，屬于機(jī)械工程表面處理技術(shù)與流體動(dòng)力學(xué)。海上航運(yùn)依然是現(xiàn)代重型貨物的主要長(zhǎng)途運(yùn)載方式，尤其是航運(yùn)在石油、天然氣、煤炭等能源的運(yùn)輸。貨輪等航行體在海上運(yùn)行時(shí)，水對(duì)船...

本發(fā)明涉及一種用于制造光子晶體，特別是合成蛋白石的方法和設(shè)備。本發(fā)明的方面涉及用于制備在制造光子晶體中使用的液體分散體的方法和設(shè)備、通過(guò)該方法制備的液體分散體、使用液體分散體制備光子晶體的方法、用于制備光子晶體的模具，以及使用該模具制備光子晶體的方法。已知使用一種工藝來(lái)生產(chǎn)合成蛋白石，其中...

本發(fā)明涉及作為工業(yè)部件的使用優(yōu)異的晶體取向控制復(fù)合體。納米級(jí)的晶質(zhì)材料(納米晶體材料)在催化劑等各種領(lǐng)域中被廣泛使用。近年來(lái)，對(duì)于納米晶體材料而言，作為具有納米級(jí)粒徑的納米顆粒，正在積極地進(jìn)行進(jìn)一步的微細(xì)化、活性面的控制等研究。例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1中提出了一種納米單晶板材集聚催化劑、即所謂納米...

本發(fā)明涉及一種內(nèi)插器襯底、mems設(shè)備以及相應(yīng)的制造方法。雖然可以應(yīng)用于任意的微機(jī)械設(shè)備和系統(tǒng)，但本發(fā)明和基于本發(fā)明的問(wèn)題參照微鏡設(shè)備進(jìn)行闡釋。具有相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)部的微鏡設(shè)備例如由de102012219591a1、de102010062118a1和wo2013/091939a1已知。wo200...

本發(fā)明涉及一種固定流導(dǎo)元件制作及其密封方法，特別是一種基于共晶鍵合的固定流導(dǎo)元件的密封方法。共晶鍵合是mems器件制作及其封裝的常用方法，在一定溫度下，不同或同種金屬鍵合面之間的原子在一定力的作用下，形成原子間的作用力或者形成合金化合物，達(dá)到一種結(jié)構(gòu)性強(qiáng)，密封性能好的鍵合面。金、銀、銦、錫...

本發(fā)明涉及微電子，特別涉及一種具有背腔結(jié)構(gòu)的器件及其形成方法。在微電子中，常常涉及具有背腔結(jié)構(gòu)的器件(例如，mems器件、微加熱板器件等)。針對(duì)具有背腔結(jié)構(gòu)的器件而言，在制備其背腔結(jié)構(gòu)時(shí)通常是從襯底的背面進(jìn)行刻蝕以形成的。參考圖1～圖3所示，其中圖1～圖3為一種在制備具有背...

本發(fā)明屬于柔性電子與傳感器領(lǐng)域，涉及一種兼容高溫處理的雙面柔性電子器件及其集成制備方法，更具體地，涉及一種兼容高溫處理的雙面柔性電子光刻-印刷-剝離混合制造技術(shù)。柔性電子器件，例如壓力傳感器，溫度傳感器，加熱器，能量捕獲器，柔性晶體管等在表皮電子，機(jī)器人皮膚，飛行器蒙皮等方面應(yīng)用廣泛。功能...

本發(fā)明屬于納米制造領(lǐng)域，具體涉及一種金屬和金屬合金納米結(jié)構(gòu)的裁剪方法，以及組裝納米器件并對(duì)其進(jìn)行表征的方法。通過(guò)調(diào)制金屬納米結(jié)構(gòu)的形狀可以顯著改善其在光、電、磁、催化等方面的性能，因而在電池，催化，光學(xué)，傳感，表面物理化學(xué)等方面有著廣泛的應(yīng)用。傳統(tǒng)的調(diào)制金屬納米結(jié)構(gòu)的形狀以及制備基于金屬納...

本發(fā)明涉及刻蝕，尤其涉及一種深腔刻蝕方法。在微機(jī)電系統(tǒng)(mems)器件成型工藝中，需要進(jìn)行具有臺(tái)階的深腔刻蝕?？涛g需要在基體表面涂覆光刻膠。該種深腔具有臺(tái)階深度差，若僅通過(guò)旋涂工藝涂布光刻膠，光刻膠在旋涂過(guò)程中受流動(dòng)性和重力的影響，趨于聚集在基底表面的最低點(diǎn)，導(dǎo)致基底表面涂膠不均勻...

本發(fā)明屬于微納光學(xué)，具體涉及一種柔性薄膜附加均勻徑向預(yù)緊力的高平面度固定方法。柔性薄膜材料如聚酰亞胺(pi)、聚對(duì)萘二甲酸乙二醇酯(pet)、聚碳酸酯(pc)等，具有重量輕、光學(xué)性能良好、易復(fù)制加工、成本較低等優(yōu)點(diǎn)，因此作為襯底材料被廣泛地應(yīng)用到微納光學(xué)中。但是，由于柔性薄...

本發(fā)明涉及微納機(jī)電系統(tǒng)(mems)傳感器，尤其涉及一種基于硅鋁異質(zhì)結(jié)構(gòu)的微壓探測(cè)壓力傳感器及其測(cè)量裝置。氣壓是氣象測(cè)量的一個(gè)重要因素，是壓力傳感器的一個(gè)重要應(yīng)用途徑，并且壓力傳感器的需求量程也出現(xiàn)了多樣化發(fā)展，不單單局限在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓周邊量程，在微壓測(cè)量方面也出現(xiàn)了許多應(yīng)用需求，這需...

本發(fā)明涉及一種組合式泵-傳感器布置，其中微型泵和傳感器共同集成在封裝件中，特別地涉及一種用于在共同的封裝件中使泵輔助傳感器小型化的概念。當(dāng)今，已知用于檢測(cè)各種分析物的多個(gè)不同的傳感器。這些傳感器有，例如氣體傳感器、濕度傳感器、細(xì)粉塵傳感器以及更多，其中當(dāng)今特別強(qiáng)調(diào)這些傳感器的便攜性。對(duì)便攜...