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本發(fā)明屬于電場動態(tài)調(diào)控，特別是涉及一種外源能量調(diào)控表面電場構(gòu)型的方法、系統(tǒng)及應用。、電場由于其非接觸、高精度調(diào)控微觀物質(zhì)行為的能力，成為實現(xiàn)納米級結(jié)構(gòu)制造的核心手段。例如，利用電場誘導沉積或刻蝕技術(shù)可精構(gòu)建微機電系統(tǒng)或光學器件；借助電泳或電潤濕效應，能在微流控芯片中實現(xiàn)細胞、液滴的操控與定...

本發(fā)明涉及一種跨臺階mems芯片電極層的制備方法，屬于微機電系統(tǒng)(mems)器件加工領(lǐng)域。、具有諧振結(jié)構(gòu)的mems器件如mems慣性器件、振蕩器、濾波器等對器件的氣密性有較高的要求。為了實現(xiàn)氣密性封裝，通常采用具有三層硅結(jié)構(gòu)的圓片級真空封裝工藝。三層硅結(jié)構(gòu)分別為具有電信號連接功能的襯底層，...

一種微型器件及用于該微型器件的封裝模具本實用新型涉及一種封裝模具，尤其涉及一種用于微型器件的封裝模具。本實用新型同時涉及一種由該封裝模具封裝成型的微型器件。微型器件是包含一個或一個以上多個活動的組件，可多種材料組成的結(jié)構(gòu)，常常要處于高溫、高濕或酸堿性惡劣的環(huán)境中工作，微型器件與外部...

一種離面靜電驅(qū)動器及其制作方法本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)領(lǐng)域，特別是關(guān)于一種基于梳齒驅(qū)動的低驅(qū)動電壓離面靜電驅(qū)動器。采用MEMS技術(shù)實現(xiàn)的靜電驅(qū)動器由于具有體積小、響應快、可靠性高等優(yōu)點，在自適應光學例如微變形鏡等領(lǐng)...

高縱橫比MEMS器件及其形成方法本公開內(nèi)容主要涉及半導體制造方法和結(jié)構(gòu)，更具體地來說，涉及使用HF氣相蝕刻工藝形成具有固定橫向電極的MEMS(微機電系統(tǒng))器件。MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)在半導體制造工業(yè)中變得非常普遍。發(fā)現(xiàn)在很多應用中利用MEMS器件(由電驅(qū)動的非常小的機械器件)。...

一種用于長玻璃柱體陽極鍵合的自動化鍵合設(shè)備本實用新型涉及電子元器件的鍵合，具體涉及一種用于長玻璃柱體陽極鍵合的自動化鍵合設(shè)備。MEMS技術(shù)是在IC技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，但MEMS器件具有多樣性和復雜性，主要表現(xiàn)在：（1）功能的多樣性，有光學MEMS、生物MEMS、射頻MEM...

本發(fā)明涉及傳感器封裝，具體為一種氣體傳感器封裝方法及傳感器。、氣體傳感器是一種能夠進行氣體分析與檢測的重要傳感器，該器件能夠感知特定氣體并確定其濃度。最常見的有：電阻式氣體傳感器、電容式氣體傳感器和諧振式氣體傳感器，尤其對于需檢測多種氣體的應用場景，例如環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)安全等，現(xiàn)有封裝技術(shù)難...

本發(fā)明涉及探針，具體涉及一種探針及其加工方法。、隨著微電子測試和半導體檢測技術(shù)的快速發(fā)展，高精度探針的加工工藝面臨前所未有的挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)車削或沖壓工藝加工的探針難以滿足微米級精度需求，且存在明顯機械應力，導致針尖變形率高達％-％，尺寸誤差普遍超過±μm。后續(xù)需化學拋光修正粗糙度(ra>...

本發(fā)明涉及一種微電子機械裝置，用于與流體壓力相互作用，其帶有停止器元件，以防止在貼靠在另外的元件上時損壞排擠器結(jié)構(gòu)。、例如，從us/已知一種mems揚聲器，其通常具有平面結(jié)構(gòu)，其中，可振動的膜通過下述方式激勵，使得流體的排擠和/或壓縮垂直于膜平面。這種膜的激勵典型地借助于壓電效應或靜電效應...

一種仿壁虎結(jié)構(gòu)粘合劑的制備方法本發(fā)明涉及一種仿壁虎腳微陣列的制備方法。在仿生學備受關(guān)注的當今，一些動物的特殊性能使人們驚訝，例如壁虎、蚊子、蒼蠅等超強的吸、脫附能力。研究壁虎腳掌的結(jié)構(gòu)及受力機理，借鑒其腳掌黏附的黏附機制，制造出仿壁虎微結(jié)構(gòu)材料，并依此研制的仿壁虎機器人在故障檢測、...

MEMS模塊及基于該模塊的控制系統(tǒng)本發(fā)明涉及通信領(lǐng)域，更具體的，本發(fā)明涉及一種基于FPC的MEMS模塊及基于該模塊的MEMS控制系統(tǒng)。MEMS系統(tǒng)是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。MEMS傳感器能夠?qū)⑿畔⒌墨@取、處理和執(zhí)行集...

使用雙釋放層的功能納米顆粒的納米壓印光刻形成相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2010年11月5日提交的，申請?zhí)枮?1/410,632的美國臨時申請的優(yōu)先權(quán)，將該申請通過援引納入于此。背景信息納米制造包括制造具有在100納米或更小量級上的特征的非常小的結(jié)構(gòu)。盡管在集成電路行業(yè)內(nèi)被熟知，納米制造技術(shù)可應用...

一種基于Parylene填充的隔熱結(jié)構(gòu)及其制備方法本發(fā)明屬于MEMS，具體涉及一種基于Parylene填充的隔熱結(jié)構(gòu)及其制備方法。硅作為MEMS技術(shù)常用的基底材料具有很好的導熱性。然而，對于氣體傳感器、流量傳感器、熱加速度計、紅外傳感器等基于溫度的傳感器，聚合酶鏈式反應（P...

基于MEMS的電化學地震檢波器電極敏感核心及其制造方法本發(fā)明涉及地震檢波和MEMS(微電子機械系統(tǒng))，尤其涉及一種基于MEMS的電化學地震檢波器電極敏感核心及其制造方法。地震檢波器屬于振動傳感器的一種，測量過程中被測振動參量(如位移、速度、加速度等)被轉(zhuǎn)變?yōu)椴煌男?..

大面積表面增強拉曼活性基底的傾斜生長制備方法本發(fā)明屬于生物傳感、電化學監(jiān)測、環(huán)境分析等拉曼光譜分析檢測技術(shù)和納米材料領(lǐng)域，具體是一種大面積表面增強拉曼活性基底的傾斜生長制備方法。拉曼光譜是一種光譜分子檢測手段，其可鑒別物質(zhì)及確定它的化學組成和相對含量，在傳感檢測領(lǐng)域具有廣泛的應用前...

一種起爆序列用冷熱臂結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器本發(fā)明涉及引信，具體涉及一種起爆序列用冷熱臂結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器。引信是利用目標和環(huán)境信息，在預定條件下引爆或引燃彈藥戰(zhàn)斗部裝藥的控制裝置（系統(tǒng)），通常安裝在火箭、導彈彈頭和炮/坦克/迫擊炮彈藥等上，根據(jù)彈藥種類的不同和對付目標的需要選擇...

一種熱應力隔離的MEMS微加熱器互聯(lián)基板及其制備方法本發(fā)明涉及微電子機械系統(tǒng)領(lǐng)域，尤其涉及一種熱應力隔離的MEMS微加熱器互聯(lián)基板及其制備方法。隨著科學技術(shù)的進步，半導體行業(yè)在著名的摩爾定律的推動下，半導體制造工藝水平不斷提高，芯片的集成度增加，封裝體積越來越小。人們發(fā)現(xiàn)，大部分敏...

本發(fā)明涉及液滴自驅(qū)動表面制備領(lǐng)域，特別是一種梯度漸變液滴自驅(qū)動功能表面制備方法。、功能表面指的是具有一定形狀和表面形貌以實現(xiàn)特定功能的表面結(jié)構(gòu)，已廣泛應用于光學、熱學、電子、能源、機械和生物醫(yī)學等領(lǐng)域。、現(xiàn)有的制備功能表面的技術(shù)需要涂層–掩膜–光刻等多道步驟，導致整體工藝周期長、成本高，不...

本發(fā)明涉及一種用于制造半導體構(gòu)件的方法和一種借助所述方法制造的微鏡組件。、由文件us/a已知用于制造mems裝置的方法，在該mems裝置中通過形成部分連續(xù)的溝槽結(jié)構(gòu)使單個的mems芯片與其余的mems晶圓分開，其中，保留單個的接片作為連接結(jié)構(gòu)。因此，單個的芯片可以在制造完成之后通過從mem...

金納米簇的制備方法及其應用本發(fā)明屬于納米材料，涉及一種金納米簇的制備方法及其應用。金納米簇是由幾個到幾十個金原子組成的一種新型納米材料，其尺寸和費爾米波長相當。他們超小的尺寸決定了他們的光學及化學性質(zhì)與比其尺寸大的金納米粒子有著顯著的區(qū)別。因為金納米簇的特殊電子，催化，光學...