1.一種全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,包括:綠光激光器、光準(zhǔn)直偏振聚焦結(jié)構(gòu)、倍頻諧振腔、諧振腔鎖定結(jié)構(gòu)和bbo晶體;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,所述光準(zhǔn)直偏振聚焦結(jié)構(gòu)沿激光傳輸方向依次包括:光準(zhǔn)直單元、第三反射鏡、偏振控制單元和聚焦透鏡系統(tǒng);綠光激光器發(fā)射的激光經(jīng)所述光準(zhǔn)直單元準(zhǔn)直后,由所述第三反射鏡反射至所述偏振控制單元,改變?nèi)肷浼す獾钠駪B(tài),聚焦透鏡系統(tǒng)將改變偏振態(tài)后的激光聚焦至諧振腔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,所述光準(zhǔn)直單元包括:第一平凸透鏡;所述第一平凸透鏡為準(zhǔn)直透鏡;所述第一平凸透鏡用于將綠光激光器發(fā)射綠光準(zhǔn)直為近平行光;近平行光是指以平行光為基準(zhǔn)處于設(shè)定范圍內(nèi)的光。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,所述偏振控制單元包括:第一半波片、光隔離器和第二半波片;
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,所述聚焦透鏡系統(tǒng)包括第二平凸透鏡和平凹透鏡;第二平凸透鏡和平凹透鏡用于將改變偏振態(tài)的激光聚焦至諧振腔內(nèi),在入射鏡和第一反射鏡之間形成泵浦光腰斑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,還包括:溫度控制系統(tǒng);
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,所述bbo晶體采用i類角度相位匹配的工作方式,產(chǎn)生倍頻光。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,所述bbo晶體為設(shè)定尺寸的長方體;所述bbo晶體的兩個(gè)端面上均鍍有作用于基頻光和倍頻紫外光的減反膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,諧振腔鎖定結(jié)構(gòu)包括:第四反射鏡、四分之一波片、偏振分束棱鏡、第一探測器、減法器、pid鎖定裝置和第二探測器;
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的全固態(tài)高功率連續(xù)波單頻紫外激光器,其特征在于,所述bbo晶體的設(shè)定尺寸為4×4×4mm;所述bbo晶體的設(shè)定溫度值為150℃。