1.一種浮動(dòng)定子減震裝置，包括用于驅(qū)動(dòng)工作部件高速運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括機(jī)臺(tái)和驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子滑動(dòng)連接在機(jī)臺(tái)上，組成浮動(dòng)定子；其特征在于：還包括控制器和用于減少驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)震動(dòng)的減震機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)與控制器電連接，減震機(jī)構(gòu)包括與控制器電連接的減震直線電機(jī)和減震編碼器；減震直線電機(jī)的定子固定連接在機(jī)臺(tái)上，減震直線電機(jī)的動(dòng)子上連接有動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板，動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板與機(jī)臺(tái)滑動(dòng)連接、與驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子固定連接，且動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)方向與驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)定子的運(yùn)動(dòng)方向平行；減震編碼器固定連接在機(jī)臺(tái)上，動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板上對(duì)應(yīng)減震編碼器的位置沿動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)方向設(shè)置有減震光柵尺，減震編碼器與減震光柵尺配合，用于測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述機(jī)臺(tái)上設(shè)置有第一直線導(dǎo)軌，第一直線導(dǎo)軌的滑塊上設(shè)置有動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子與動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板連接；機(jī)臺(tái)上還設(shè)置有第二直線導(dǎo)軌，第二直線導(dǎo)軌的滑塊上設(shè)置有運(yùn)動(dòng)連接板，運(yùn)動(dòng)連接板用于安裝工作部件，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子與運(yùn)動(dòng)連接板連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述機(jī)臺(tái)上還設(shè)置有第三直線導(dǎo)軌，第三直線導(dǎo)軌的滑塊與動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述第二直線導(dǎo)軌的兩端相對(duì)設(shè)置有第一限位塊和油壓緩沖器，運(yùn)動(dòng)連接板位于第一限位塊和油壓緩沖器之間；第三直線導(dǎo)軌的兩端相對(duì)設(shè)置有兩個(gè)第二限位塊，動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板位于兩個(gè)第二限位塊之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述機(jī)臺(tái)上對(duì)應(yīng)油壓緩沖器處設(shè)置有與控制電連接的第一傳感器，第一傳感器用于限定運(yùn)動(dòng)連接板向靠近油壓緩沖器方向運(yùn)動(dòng)的極限位置；機(jī)臺(tái)上對(duì)應(yīng)其中一個(gè)第二限位塊處設(shè)置有與控制器電連接的第二傳感器，第二傳感器用于減震直線電機(jī)的動(dòng)子回零。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板上靠近運(yùn)動(dòng)連接板的一側(cè)沿動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)方向設(shè)置有驅(qū)動(dòng)光柵尺，運(yùn)動(dòng)連接板上對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)光柵尺的位置設(shè)置有與控制器電連接的驅(qū)動(dòng)主編碼器，驅(qū)動(dòng)主編碼器與驅(qū)動(dòng)光柵尺配合，用于測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子和定子兩者的相對(duì)位置，識(shí)別兩者的電角度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述機(jī)臺(tái)上沿運(yùn)動(dòng)連接板的運(yùn)動(dòng)方向設(shè)置有銦鋼尺，運(yùn)動(dòng)連接板上對(duì)應(yīng)銦鋼尺的位置設(shè)置有與控制器電連接的驅(qū)動(dòng)副編碼器，驅(qū)動(dòng)副編碼器與銦鋼尺配合，用于測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度；銦鋼尺的中心位置設(shè)置原點(diǎn)，用于驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子回零。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述減震機(jī)構(gòu)還包括兩根減震彈簧，兩根減震彈簧連接在機(jī)臺(tái)和驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子之間，且兩根減震彈簧的軸線與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子運(yùn)動(dòng)方向平行，其中一根減震彈簧被拉伸時(shí)，另一根減震彈簧被壓縮。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種浮動(dòng)定子減震裝置，其特征在于：所述減震機(jī)構(gòu)還包括配重塊，配重塊固定連接在動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板上。
10.一種浮動(dòng)定子減震方法，其特征在于：應(yīng)用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的浮動(dòng)定子減震裝置完成，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子驅(qū)動(dòng)工作部件高速運(yùn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到反作用力向工作部件運(yùn)動(dòng)方向的相反方向運(yùn)動(dòng)，減震編碼器與減震光柵尺配合測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度，并將位置及速度信號(hào)發(fā)送至控制器，控制器根據(jù)位置及速度信號(hào)控制減震直線電機(jī)的動(dòng)子驅(qū)動(dòng)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子運(yùn)動(dòng)方向的相反方向運(yùn)動(dòng)，對(duì)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子施加與反作用力方向相反、大小相等的作用力，以抵消驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到的反作用力，實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減震。