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薄膜及其制備方法、疊層器件與流程

文檔序號:42326377發(fā)布日期:2025-07-01 19:45閱讀:12來源:國知局

本申請涉及顯示和照明,更具體地,涉及一種薄膜及其制備方法、疊層器件。


背景技術:

1、隨著時代的發(fā)展,響應速度快、對比度高、功耗小的oled顯示面板正不斷占據(jù)中小尺寸顯示市場,替代原有的lcd顯示產品。目前,商用的oled產品主要通過蒸鍍法來實現(xiàn),受到蒸鍍機、精細mask等的限制,大尺寸oled顯示面板普遍存在良率不高、成本高昂的情況。相較于蒸鍍法,溶液法卻不需要昂貴的真空設備,其更加有望于加速實現(xiàn)大尺寸oled顯示面板走向千家萬戶。因此,以噴墨打印為代表的溶液法技術路線得到了廣泛的關注。

2、然而,相較于蒸鍍法制備的oled,溶液法制備的oled的性能仍存在較大差距。在通過溶液法進行制備的過程中,由于使用的溶液具有酸性或堿性,而功能層的薄膜抗沖洗破壞能力較弱,所以容易產生化學刻蝕,從而影響發(fā)光器件的效率和壽命。


技術實現(xiàn)思路

1、本申請所要解決的技術問題是通過溶液法制備的發(fā)光器件效率和壽命較低。

2、為了解決上述技術問題,本申請?zhí)峁┮环N薄膜,采用了如下所述的技術方案:

3、一種薄膜,所述薄膜包括依次疊層設置的第一子層、緩沖層、第二子層,其中,所述緩沖層的材料為絕緣材料。

4、進一步的,所述絕緣材料包括聚合物材料,所述絕緣材料的電導率小于等于1×10-7s/m;

5、可選地,所述聚合物材料包括聚乙烯亞胺、聚乙氧基乙烯亞胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯吡咯烷酮、聚氧化乙烯中的一種或多種;

6、和/或,所述第一子層為n-型半導體材料;

7、可選地,所述n-型半導體材料包括金屬氧化物、摻雜金屬氧化物、ii-vi族半導體材料、iii-v族半導體材料及i-iii-vi族半導體材料中的一種或多種;

8、其中,所述金屬氧化物選自zno、bao、tio2、sno2中的至少一種;所述摻雜金屬氧化物中的金屬氧化物選自zno、tio2、sno2中的至少一種,摻雜元素選自al、mg、li、in、ga中的至少一種;所述ii-vi族半導體材料選自zns、znse、cds中的至少一種;所述iii-v族半導體材料選自inp、gap中的至少一種;所述i-iii-vi族半導體材料選自cuins、cugas中的至少一種;

9、和/或,所述第二子層為p-型半導體材料;

10、可選地,所述p-型半導體材料包括2,3,6,7,10,11-六氰基-1,4,5,8,9,12-六氮雜苯并菲、pedot、pedot:pss、pedot:pss摻有s-moo3的衍生物、4,4',4'-三(n-3-甲基苯基-n-苯基氨基)三苯胺、四氰基醌二甲烷、酞菁銅、氧化鎳、氧化鉬、氧化鎢、氧化釩、硫化鉬、硫化鎢及氧化銅中的一種或多種。

11、進一步的,所述薄膜的總厚度范圍為30-70nm;

12、和/或,所述第一子層的厚度范圍為10-30nm;

13、和/或,所述緩沖層的厚度范圍為5-10nm;

14、和/或,所述第二子層的厚度范圍為15-30nm。

15、為了解決上述技術問題,本申請?zhí)峁┮环N薄膜的制備方法,采用了如下所述的技術方案:

16、一種薄膜的制備方法,所述制備方法的步驟包括:

17、提供包含第一前驅體材料的第一溶液、包含絕緣材料的第二溶液、包含第二前驅體材料的第三溶液;

18、將所述第一溶液設置成第一子層;

19、將所述第二溶液沉積在所述第一子層上,形成緩沖層;

20、將所述第三溶液沉積在所述緩沖層上,形成第二子層,得到所述薄膜。

21、進一步的,所述第一前驅體材料包括n-型半導體前驅體材料;

22、可選地,n-型半導體前驅體材料包括乙酰丙酮金屬鹽;

23、更可選地,所述乙酰丙酮金屬鹽包括乙酰丙酮鋅和乙酰丙酮鈦中的至少一種;

24、和/或,所述絕緣材料包括聚合物材料;

25、可選地,所述聚合物材料包括聚乙烯亞胺、聚乙氧基乙烯亞胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯吡咯烷酮、聚氧化乙烯中的一種或多種;

26、和/或,所述第二前驅體材料包括p-型半導體前驅體材料;

27、可選地,所述p-型半導體前驅體材料包括磷鉬酸銨、鉬酸銨、偏鎢酸銨、六羰基鉬以及乙醇鎢中的一種或多種。

28、進一步的,所述第一溶液的濃度范圍為5-25mg/ml,所述第一溶液的溶劑包括甲醇、乙醇、丁醇以及乙腈中的至少一種;

29、和/或,所述第二溶液的濃度范圍為3-10mg/ml,所述第二溶液的溶劑包括甲醇、乙醇、丁醇以及乙腈中的至少一種;

30、和/或,所述第三溶液的濃度范圍為5-15mg/ml,所述第三溶液的溶劑包括甲醇、乙醇、丁醇以及乙腈中的至少一種。

31、進一步的,所述將所述第一溶液設置成第一子層的具體步驟包括:

32、將所述第一溶液設置成液膜,然后加熱干燥,形成所述第一子層;可選地,所述將所述第一溶液設置成第一子層的具體步驟中,加熱溫度為100-150℃,加熱時間為5-10min;

33、和/或,所述將所述第二溶液沉積在所述第一子層上,形成緩沖層的具體步驟包括:

34、將所述第二溶液沉積在所述第一子層上,然后加熱干燥,形成所述緩沖層;可選地,所述將所述第二溶液沉積在所述第一子層上,形成緩沖層的具體步驟中,加熱溫度為100-150℃,加熱時間為10-30min;

35、和/或,所述將所述第三溶液沉積在所述緩沖層上,形成第二子層的具體步驟包括:

36、將所述第三溶液沉積在所述緩沖層上,然后加熱干燥,形成所述第二子層;可選地,所述將所述第三溶液沉積在所述緩沖層上,形成第二子層的具體步驟中,加熱溫度為100-150℃,加熱時間為10-30min。

37、進一步的,所述薄膜的總厚度范圍為30-70nm;

38、和/或,所述第一子層的厚度范圍為10-30nm;

39、和/或,所述緩沖層的厚度范圍為5-10nm;

40、和/或,所述第二子層的厚度范圍為15-30nm。

41、為了解決上述技術問題,本申請還提供一種疊層器件,采用了如下所述的技術方案:

42、一種疊層器件,所述疊層器件包括電荷產生層,所述電荷產生層包括如上所述的薄膜,或所述電荷產生層由如上所述的薄膜的制備方法制備得到。

43、與現(xiàn)有技術相比,本申請主要有以下有益效果:

44、本申請?zhí)峁┑谋∧ぷ鳛榀B層器件的電荷產生層,在相同電流密度下,能夠成倍增加產生的光子數(shù),有效提升了疊層器件的效率和壽命。



技術特征:

1.一種薄膜,其特征在于,所述薄膜包括依次疊層設置的第一子層、緩沖層、第二子層,其中,所述緩沖層的材料為絕緣材料,所述絕緣材料的電導率小于等于1×10-7s/m。

2.根據(jù)權利要求1所述的薄膜,其特征在于,所述絕緣材料包括聚合物材料;

3.根據(jù)權利要求1所述的薄膜,其特征在于,所述薄膜的總厚度范圍為30-70nm;

4.一種薄膜的制備方法,其特征在于,所述制備方法的步驟包括:

5.根據(jù)權利要求4所述的薄膜的制備方法,其特征在于,所述第一前驅體材料包括n-型半導體前驅體材料;

6.根據(jù)權利要求4所述的薄膜的制備方法,其特征在于,所述第一溶液的濃度范圍為5-25mg/ml,所述第一溶液的溶劑包括甲醇、乙醇、丁醇以及乙腈中的至少一種;

7.根據(jù)權利要求4所述的薄膜的制備方法,其特征在于,所述將所述第一溶液設置成第一子層的具體步驟包括:

8.根據(jù)權利要求4所述的薄膜的制備方法,其特征在于,所述薄膜的總厚度范圍為30-70nm;

9.一種疊層器件,所述疊層器件包括電荷產生層,其特征在于,所述電荷產生層包括權利要求1-3任一項所述的薄膜,或所述電荷產生層由權利要求4-9任一項所述的薄膜的制備方法制備得到。

10.根據(jù)權利要求9所述的疊層器件,其特征在于,所述疊層器件還包括依次疊層設置的陽極、第一空穴注入層、第一空穴傳輸層、第一發(fā)光層、第二空穴傳輸層、第二發(fā)光層、第二電子傳輸層和陰極,其中,所述電荷產生層設置在所述第一發(fā)光層和所述第二空穴傳輸層之間,所述電荷產生層中的第一子層設置在靠近所述第一發(fā)光層一側,所述電荷產生層中的第二子層設置在靠近所述第二空穴傳輸層一側;


技術總結
本申請屬于顯示技術領域,具體涉及一種薄膜及其制備方法、疊層器件,其中,所述薄膜用作電荷產生層。本申請?zhí)峁┑谋∧?,在相同電流密度下,能夠成倍增加產生的光子數(shù),有效提升了疊層器件的效率和壽命。

技術研發(fā)人員:余鵬,王士攀,莊錦勇,付東
受保護的技術使用者:廣東聚華印刷顯示技術有限公司
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/6/30
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